Вышедшие номера
Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al1-xSix при магнетронном и ионно-лучевом напылении
Переводная версия: 10.1134/S1063783418050311
Терехов В.А.1, Усольцева Д.С.1, Сербин О.В.1, Занин И.Е.1, Куликова Т.В.1, Нестеров Д.Н.1, Барков К.А.1, Ситников А.В.1, Лазарук С.К.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 14 июня 2017 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2018 г.

Методами рентгеновской дифракции и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии исследованы особенности фазового состава и электронного строения композитных пленок алюминий-кремний вблизи состава Al0.75Si0.25 на кремниевой подложке Si(100), полученных методами магнетронного и ионно-лучевого напыления. При магнетронном напылении в поликристаллической Al матрице кроме нанокристаллов кремния размерами около 25 nm, образуется упорядоченный твердый раствор, соответствующий неизвестной ранее фазе Al3Si. Пленки, полученные ионно-лучевым распылением составной мишени, оказались однофазными и содержащими только одну фазу упорядоченного твердого раствора силицида алюминия Al3Si кубической сингонии Рm3m с параметром примитивной ячейки a=4.085 Angstrem. Однако последующий импульсный фотонный отжиг различными дозами от 145 до 216 J/cm2 приводит к частичному распаду фазы Al3Si с формированием в композите свободного металлического алюминия и нанокристаллов кремния с размерами в интервале 50-100 nm в зависимости от дозы ИФО. Работа выполнена при поддержке Минобрнауки России в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2017-2019 гг. Проект N 3.6263.2017/ВУ.
  1. Нанотехнология в ближайщем десятилетии. Под ред. М.К. Роко, Р.С. Уильямса, П. Аливисатоса. Мир, М. (2002). 292 с
  2. В.А. Терехов, С.К. Лазарук, Д.С. Усольцева, А.А. Лешок, П.С. Кацуба, И.Е. Занин, Д.Е. Спирин, А.А. Степанова, С.Ю. Турищев. ФТТ 56, 2452 (2014)
  3. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Том 1. Под ред. Н.П. Лякишева. Машиностроение, М. (1996). 992 с
  4. JCPDS --- International Centre for Diffraction Data. PCPDFWIN v. 22. card N 41-1222
  5. А.К. Кушнерева, И.В. Салли. Неорганические материалы 6, 1867 (1970)
  6. С.К. Лазорук, А.А. Лешок, В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко. ФТП 39, 149 (2005)
  7. Yu.E. Kalinin, A.V. Sitnikov, O.V. Stognei, I.V. Zolotukhin, P.V. Neretin. Mat. Scien. and Engin. 304- 306, 941 (2001)
  8. Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. ЛГУ, Ленинград (1971). 132 с
  9. В.В. Немошкаленко, А.Г. Алешин. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии. Наукова думка, Киев. (1974). 376 с
  10. А.С. Шулаков, А.П. Степанов. Поверхность. Физ. Хим. Мех. 10, 146 (1988)
  11. В.А. Терехов, С.Н. Тростянский, А.Е. Селезнев, Э.П. Домашевская. Поверхность. Физ. Хим. Мех. 5, 74 (1988)
  12. V.M. Ievlev, A.A. Maksimenko, S.V. Kannykin, A.I. Dontsov, K.A. Solntsev, E.K. Belonogov, N.R. Roshan. Dokl. Phys. Chem. 457, 127 (2014)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.