Издателям
Вышедшие номера
Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al1-xSix при магнетронном и ионно-лучевом напылении
Переводная версия: 10.1134/S1063783418050311
Терехов В.А.1, Усольцева Д.С.1, Сербин О.В.1, Занин И.Е.1, Куликова Т.В.1, Нестеров Д.Н.1, Барков К.А.1, Ситников А.В.1, Лазарук С.К.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 14 июня 2017 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2018 г.

Методами рентгеновской дифракции и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии исследованы особенности фазового состава и электронного строения композитных пленок алюминий-кремний вблизи состава Al0.75Si0.25 на кремниевой подложке Si(100), полученных методами магнетронного и ионно-лучевого напыления. При магнетронном напылении в поликристаллической Al матрице кроме нанокристаллов кремния размерами около 25 nm, образуется упорядоченный твердый раствор, соответствующий неизвестной ранее фазе Al3Si. Пленки, полученные ионно-лучевым распылением составной мишени, оказались однофазными и содержащими только одну фазу упорядоченного твердого раствора силицида алюминия Al3Si кубической сингонии Рm3m с параметром примитивной ячейки a=4.085 Angstrem. Однако последующий импульсный фотонный отжиг различными дозами от 145 до 216 J/cm2 приводит к частичному распаду фазы Al3Si с формированием в композите свободного металлического алюминия и нанокристаллов кремния с размерами в интервале 50-100 nm в зависимости от дозы ИФО. Работа выполнена при поддержке Минобрнауки России в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2017-2019 гг. Проект N 3.6263.2017/ВУ.
  • Нанотехнология в ближайщем десятилетии. Под ред. М.К. Роко, Р.С. Уильямса, П. Аливисатоса. Мир, М. (2002). 292 с
  • В.А. Терехов, С.К. Лазарук, Д.С. Усольцева, А.А. Лешок, П.С. Кацуба, И.Е. Занин, Д.Е. Спирин, А.А. Степанова, С.Ю. Турищев. ФТТ 56, 2452 (2014)
  • Диаграммы состояния двойных металлических систем. Том 1. Под ред. Н.П. Лякишева. Машиностроение, М. (1996). 992 с
  • JCPDS --- International Centre for Diffraction Data. PCPDFWIN v. 22. card N 41-1222
  • А.К. Кушнерева, И.В. Салли. Неорганические материалы 6, 1867 (1970)
  • С.К. Лазорук, А.А. Лешок, В.А. Лабунов, В.Е. Борисенко. ФТП 39, 149 (2005)
  • Yu.E. Kalinin, A.V. Sitnikov, O.V. Stognei, I.V. Zolotukhin, P.V. Neretin. Mat. Scien. and Engin. 304- 306, 941 (2001)
  • Т.М. Зимкина, В.А. Фомичев. Ультрамягкая рентгеновская спектроскопия. ЛГУ, Ленинград (1971). 132 с
  • В.В. Немошкаленко, А.Г. Алешин. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии. Наукова думка, Киев. (1974). 376 с
  • А.С. Шулаков, А.П. Степанов. Поверхность. Физ. Хим. Мех. 10, 146 (1988)
  • В.А. Терехов, С.Н. Тростянский, А.Е. Селезнев, Э.П. Домашевская. Поверхность. Физ. Хим. Мех. 5, 74 (1988)
  • V.M. Ievlev, A.A. Maksimenko, S.V. Kannykin, A.I. Dontsov, K.A. Solntsev, E.K. Belonogov, N.R. Roshan. Dokl. Phys. Chem. 457, 127 (2014)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.