Вышедшие номера
Особенности фазообразования и электронного строения в пленочных композитах Al1-xSix при магнетронном и ионно-лучевом напылении
Переводная версия: 10.1134/S1063783418050311
Терехов В.А.1, Усольцева Д.С.1, Сербин О.В.1, Занин И.Е.1, Куликова Т.В.1, Нестеров Д.Н.1, Барков К.А.1, Ситников А.В.1, Лазарук С.К.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: ftt@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 14 июня 2017 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2018 г.

Методами рентгеновской дифракции и ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии исследованы особенности фазового состава и электронного строения композитных пленок алюминий-кремний вблизи состава Al0.75Si0.25 на кремниевой подложке Si(100), полученных методами магнетронного и ионно-лучевого напыления. При магнетронном напылении в поликристаллической Al матрице кроме нанокристаллов кремния размерами около 25 nm, образуется упорядоченный твердый раствор, соответствующий неизвестной ранее фазе Al3Si. Пленки, полученные ионно-лучевым распылением составной мишени, оказались однофазными и содержащими только одну фазу упорядоченного твердого раствора силицида алюминия Al3Si кубической сингонии Рm3m с параметром примитивной ячейки a=4.085 Angstrem. Однако последующий импульсный фотонный отжиг различными дозами от 145 до 216 J/cm2 приводит к частичному распаду фазы Al3Si с формированием в композите свободного металлического алюминия и нанокристаллов кремния с размерами в интервале 50-100 nm в зависимости от дозы ИФО. Работа выполнена при поддержке Минобрнауки России в рамках государственного задания вузам в сфере научной деятельности на 2017-2019 гг. Проект N 3.6263.2017/ВУ.