Издателям
Вышедшие номера
Трансформация точечных дефектов в диоксиде кремния в процессе отжига
РФФИ, А, 15-03-06206 А.
Иванова Е.В.1, Заморянская М.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Ivanova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2016 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2016 г.

Ранее авторами было показано, что отжиг диоксида кремния в бескислородной среде приводит к образованию кластеров кремния вблизи поверхности. Механизм формирования кластеров кремния таким способом изучен недостаточно, однако установлено, что скорость образования нанокластеров и их размер зависят от содержания точечных дефектов в диоксиде кремния и содержания примесей, например гидроксильных групп. В продолжение этих исследований изучено изменение содержания точечных дефектов в пленках диоксида кремния в процессе отжига. Для оценки изменения содержания точечных дефектов до и после отжига предложена новая методика. Предложена модель трансформации точечных дефектов в диоксиде кремния в нанокластеры кремния в результате высокотемпературного отжига. Работа выполнена с использованием оборудования ЦКП "Материаловедение и диагностика в передовых технологиях" при поддержке Министерства образования и науки РФ (соглашение о предоставлении субсидии N 14.621.21.0007 id RFMEFI62114X0007), а также при частичной финансовой поддержке РФФИ в рамках гранта N 15-03-06206 А.
  • Л.А. Бакалейников, М.В. Заморянская, Е.В. Колесникова, В.И. Соколов, Е.Ю. Флегонтова. ФТТ 46, 6, 989 (2004)
  • М.В. Заморянская, Е.В. Иванова, А.А. Ситникова. ФТТ 53, 7, 1399 (2011)
  • E.V. Kolesnikova, M.V. Zamoryanskaya. Physica B 404, 23-24, 4653, (2009)
  • Е.В. Иванова, А.А. Ситникова, О.В. Александров, М.В. Заморянская. ФТП 50, 6, 807 (2016)
  • J. Dutta, H. Hofmann, C. Hollestein, H. Hofmeister, In: Nanoparticles and nanostructured films: preparation, characterization and application / Ed. J.H. Fendler. Wiley-VCH (1998). Ch. 8. P. 173
  • R.A. Bley, S.M. Kauzlarich. In: Nanoparticles and nanostructured films: preparation, characterization and application / Ed. J.H. Fendler. Wiley-VCH (1998). Ch. 5. P. 101
  • B.M. Monroy, G. Santana, J. Fandio, A. Ortiz, J.C. Alonso. J. Nanosci. Nanotechnol. 6, 12, 3752 (2006)
  • P.RJ Wilson, T. Roschuk, K. Dunn, E. N. Normand, E. Chelomentsev, O.HY Zalloum, J. Wojcik, P. Mascher. Nanoscale Res. Lett. 6, 1, 168 (2011)
  • M.V. Zamoryanskaya. Solid State Phenom. 156--158, 487 (2010)
  • E.V. Ivanova, M.V. Zamoryanskaya. Solid State Phenom. 205-206, 457 (2014)
  • М.В. Заморянская, С.Г. Конников, А.Н. Заморянский. Приборы и техника эксперимента 4, 62 (2004)
  • L.N. Skuja, A.R. Silin. Phys. Status Solidi A 70, 1, 43 (1982)
  • C.M. Gee, M. Kastner. J. Non-Cryst. Solids 40, 1-3, 577 (1980)
  • H.-J. Fitting, T. Barfels, A.N. Trukhin, B. Schmidt, A. Gulans, A. Von Czarnovski. J. Non-Cryst. Solids 303, 2, 218 (2002)
  • П.А. Куликов. Термическая диссоциация соединений. Металлургия, М. (1969). 573 c
  • Е.А. Тутов, М.Н. Павленко, И.В. Протасова, В.М. Кашкаров. Письма в ЖТФ 28, 17, 45 (2002)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.