Издателям
Вышедшие номера
Влияние полярности напряжения смещения подложки на текстуру, микроструктуру и магнитные свойства пленок Ni, получаемых магнетронным распылением
РФФИ, 16-37-60052
Никулин Ю.В.1,2, Джумалиев А.С.2,1, Филимонов Ю.А.2,1,3
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
3Саратовский государственный технический университет им. Ю.А. Гагарина, Саратов, Россия
Email: dzhas@yandex.ru, yvnikulin@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Для пленок Ni, получаемых магнетронным распылением при давлении рабочего газа P, соответствующем режиму пролета атомов распыленного материала мишени в области между мишенью и подложкой, близкому к бесстолкновительному, изучено влияние полярности напряжения смещения подложки Us на микроструктуру, кристаллографическую текстуру и магнитные свойства пленок толщиной d~ 15-420 nm. Показано, что при Us~ -100 V формируются пленки с текстурой Ni(111), микроструктура и магнитные параметры которых почти не меняются с толщиной. При Us~ +100 V формируются пленки Ni(200), магнитные свойства и микроструктура которых существенно зависят от толщины d, что проявляется в наличии критической толщины d*~ 150 nm, когда структура пленки по толщине становится неоднородной, петли перемагничивания изменяются от прямоугольных к закритическим и формируется полосовая доменная структура. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 16-37-60052).
  1. R.S. Liu, H. Pettersson, L. Michalak, C.M. Canali, D. Suyatin, L. Samuelson. Appl. Phys. Lett. 90, 123 111 (2007)
  2. J.-I. Shirakashia, Y. Takemura. J. Magn. Magn. Mater. 272-- 276, 1581 (2004)
  3. P.A. Deymier, J.O. Vasseur, K. Runge, A. Manchon, O. Bou-Matar. Phys. Rev. B 90, 224 421 (2014)
  4. T. Moriyama, T.J. Gudmundsen, P.Y. Huang, L. Liu, D.A. Muller, D.C. Ralph, R.A. Buhrman. Appl. Phys. Lett. 97, 072 513 (2010)
  5. V.L. Zhang, F.S. Ma, H.H. Pan, C.S. Lin, H.S. Lim, S.C. Ng, M.H. Kuok, S. Jain, A.O. Adeyeye. Appl. Phys. Lett 100, 163 118 (2012)
  6. P. Graczyk, B. Mroz. Am. Insitute Phys. Adv. 4, 077 138 (2014)
  7. L. Dreher, M. Weiler, M. Pernpeintner, H. Huebl, R. Gross, M.S. Brandt, S.T.B. Goennenwein. Phys. Rev. B 86, 134 415 (2012)
  8. R.F. Wiegert, M. Levy. J Appl. Phys. 64, 5411 (1988)
  9. F. Kreitmeier, D.V. Chashin, Y.K. Fetisov, L.Y. Fetisov, I. Schulz, G.J. Monkman, M. Shamonin. Sensors 12, 14 821 (2012)
  10. M. Weiler, A. Brandlmaier, S. Geprags, M. Althammer, M. Opel, C. Bihler, H. Huebl, M.S. Brandt, R. Gross, S.T.B. Goennenwein. New J. Phys. 11, 013 021 (2009)
  11. M.R.J. Gibbs. J. Magn. Magn. Mater. 290-- 291, 1298 (2005)
  12. T.H. Kim, J.S. Moodera. Phys. Rev. B 69, 020 403 (2004)
  13. S.-M. Cherif, A. Layadi, J. Ben Youssef, C. Nacereddine, Y. Roussigne. Physica B 387, 281 (2007)
  14. J.B. Yi, Y.Z. Zhou, Z.J. Ding. J. Magn. Magn. Mater. 284, 303 (2004)
  15. O. Kohmoto, N. Mineji, Y. Isagawa. J. Magn. Magn. Mater. 239, 36 (2002)
  16. А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов. Радиотехника и Электроника 57, 550 (2012)
  17. C.Y. Shih, C.L. Bauer, J. Artman. O. Artman. J. Appl. Phys. 64, 5428 (1988)
  18. Е.Е. Шалыгина, Л.В. Козловский, Н.М. Абросимова. ФТТ 47, 660 (2005)
  19. S. Hameed, P. Talagala, R. Naik. J. Magn. Magn. Mater. 242-- 245, 1264 (2002)
  20. L.G. Pratibha, R. Mitra, J.R. Weertman. Pure Appl. Chem. 74, 1519 (2002)
  21. H. Shimizu, E. Suzuki, Y. Hoshi. Electrochomica Acta. 44, 3933 (1999)
  22. Y. Pauleau, S. Kukielka, W. Gulbinski, L. Ortega, S.N. Dub. J. Phys. D 39, 2803 (2006)
  23. В.В. Наумов, В.Ф. Бочкарев, О.С. Трушин, А.А. Горячев, Э.Г. Хасанов, А.А. Лебедев, А.С. Куницын. ЖТФ 71, 92 (2001)
  24. F. Czerwinski, J.A. Szpunar. Textures Microstructures 34, 197 (2000)
  25. A.Y. Pavlova, Y.V. Nikulin, A.S. Dzhumaliev, Y.V. Khivintsev, A.A. Zaharov, V.L. Preobrazhensky, P. Pernod, Y.A. Filimonov. Appl. Surf. Sci. 347, 435 (2015)
  26. А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов. ЖТФ 84, 7, 152 (2014)
  27. T. Koda, H. Toyota. J. Vacuum Sci. Technology A 32, 02B104 (2014)
  28. B.G. Priyadarshini, M. Kumar Gupta, S. Ghosh, M. Chakraborty, S. Aich. Surf. Eng. 29, 689 (2013)
  29. P.L. Gai1, R. Mitra, J.R. Weertman. Pure Appl. Chem. 74, 1519 (2002)
  30. T. Kazuaki, O. Yuta, K. Keishi. J. Vacuum Soc. J. 49, 156 (2006)
  31. C. Nacereddine, A. Layadi, A. Guittoum, S.-M. Cherif, T. Chauveau, D. Billet, J. Ben Youssef, A. Bourzami, M.-H. Bourahli. Mater. Sci. Eng. B 136, 197 (2007)
  32. S. Thiele, A. Reina, P. Healey, J. Kedzierski, P. Wyatt, P.-L. Hsu, C. Keast, J. Schaefer1. J. Kong Nanotechnology 21, 015 601 (2010)
  33. N. Popovic, Z. Bogdanov, B. Goncic, Z. Rakocevic, S. Zec. Thin Solid Films 343-- 344, 75 (1999)
  34. P.B. Geetha, S. Aich, M. Chakraborty J. Mater Sci. 46, 2860 (2011)
  35. S.G. Wang, E.K. Tian, C.W. Lung. J. Phys, Chem. Solids 61, 1295 (2000)
  36. А.С. Джумалиев, Ю.В. Никулин, Ю.А. Филимонов. Письма в ЖТФ 39, 10 (2013)
  37. D. Walton. J. Chem. Phys. 37, 2182 (1962)
  38. T. Futschek, J. Hafner, M. Marsman. J. Phys.: Condens. Matter. 18, 9703 (2006)
  39. C.Л. Высоцкий, А.С. Джумалиев, С.А. Никитов, Ю.А. Филимонов. Радиотехника и электроника 45, 209 (2000)
  40. H. Masumoto, H. Saito, Y. Murakami. Trans JIM. 10, 119 (1969)
  41. T.-Y. Fu, T.T. Tsong. Surf. Sci. 454-- 456, 571 (2000)
  42. C. Тикадзуми. Физика ферромагнетизма. Магнитные свойства вещества. Мир, М. (1983). 304 c
  43. W.H. Zhong, C.Q. Sun, S. Li. Solid State Commun. 130, 603 (2004)
  44. R. Arias, D.L. Mills. Phys. Rev. B 63, 134 439 (2001)
  45. Г.С. Кринчик. Физика магнитных явлений. Изд-во МГУ М. (1985). 336 с
  46. Технология тонких пленок. Справочник. / Под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга. Сов. радио, М. (1977). т. 2

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.