Вышедшие номера
Влияние полярности напряжения смещения подложки на текстуру, микроструктуру и магнитные свойства пленок Ni, получаемых магнетронным распылением
РФФИ, 16-37-60052
Никулин Ю.В.1,2, Джумалиев А.С.2,1, Филимонов Ю.А.2,1,3
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
2Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
3Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А., Саратов, Россия
Email: dzhas@yandex.ru, yvnikulin@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 октября 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Для пленок Ni, получаемых магнетронным распылением при давлении рабочего газа P, соответствующем режиму пролета атомов распыленного материала мишени в области между мишенью и подложкой, близкому к бесстолкновительному, изучено влияние полярности напряжения смещения подложки Us на микроструктуру, кристаллографическую текстуру и магнитные свойства пленок толщиной d~ 15-420 nm. Показано, что при Us~ -100 V формируются пленки с текстурой Ni(111), микроструктура и магнитные параметры которых почти не меняются с толщиной. При Us~ +100 V формируются пленки Ni(200), магнитные свойства и микроструктура которых существенно зависят от толщины d, что проявляется в наличии критической толщины d*~ 150 nm, когда структура пленки по толщине становится неоднородной, петли перемагничивания изменяются от прямоугольных к закритическим и формируется полосовая доменная структура. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 16-37-60052).