Издателям
Вышедшие номера
Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti0.48Zr0.52)Ox, полученных распылением
Знаменский А.Г. 1, Ионов А.М. 2, Марченко В.А. 1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и высокочистых материалов РАН, Черноголовка, Россия
2Институт физики твердого тела РАН, Черноголовка, Россия
Email: andrew@iptm.ru, ionov@issp.ac.ru, marchenk@iptm.ru
Поступила в редакцию: 21 июля 2015 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2016 г.

Методами термодесорбции, электронной и оптической микроскопии выявлены условия (режимы осаждения и термообработки) образования газовых пузырьков в сегнетоэлектрических пленках Pb(Ti1-yZry)O3. Предложен механизм образования пузырьков, заключающийся в том, что при относительно низких температурах свинец способен образовывать оксиды с большим содержанием кислорода (типа PbO2), распадающиеся с выделением кислорода до низшего оксида типа PbO при последующем нагреве. Развитые представления позволили разработать методику изготовления пленок Pb(Ti1-yZry)O3 со сниженной на порядок плотностью сквозных дефектов.
  1. В.П. Пронин, С.В. Сенкевич, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин. ФТТ 55, 92 (2013)
  2. M. Natali, D. Garoli, V. Rigato, F. Romanato. LNL Annual Report: Applied, General and Interdisciplinary Physics (2010). P. 95
  3. И.Ю. Тентилова, С.А. Кукушкин, Е.Ю. Каптелов, И.П. Пронин, В.Л. Уголков. Письма в ЖТФ 37, 4, 37 (2011)
  4. Б. Шерцер. В сб.: Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Мир, М. (1986). С. 360
  5. W.W.Y. Lee, D. Oblas. J. Appl. Phys. 46, 1728 (1975)
  6. В.Г. Бешенков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 9, 67 (2010)
  7. В.Г. Бешенков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 11, 3 (2012)
  8. В.Г. Бешенков, А.А. Бурлаков, А.Г. Знаменский, В.А. Марченко. Письма в ЖТФ 40, 15, 30 (2014)
  9. D. Edwards, jr. J. Appl. Phys. 46, 1437 (1975)
  10. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, V. Littmark. The stopping and range of ions in solids. Pergamon, New York (1985). 321 p
  11. R.E. Somekh. J. Vac. Sci. Technol. A 2, 1285 (1984)
  12. G.I. Grigorov, I.N. Martev. Thin Solid Films 156, 356 (1988)
  13. Л.Н. Розанов. Вакуумная техника. Высшая шк., М. (1990). 320 с
  14. Физико-химические свойства окислов. Cправочник. Металлургия, М. (1978). 472 c
  15. K. Korniyenko. In: Landolt-Bornstein. Group IV. V 11D5: Ternary alloy systems / Eds G. Effenberg, S. Ilyenko. Springer, Berlin-Heidelberg (2009). P. 369
  16. В.А. Извозчиков, О.А. Тимофеев. Фотопроводящие оксиды свинца в электронике. Энергия, Л. (1979). 144 с
  17. И.П. Пронин, Е.Ю. Каптелов, С.В. Сенкевич, В.А. Климов, Н.В. Зайцева, Т.А. Шаплыгина, В.П. Пронин, С.А. Кукушкин. ФТТ 52, 124 (2010)
  18. J.v Sestak, V. v Satana, W.W. Wendlandt. Thermochim. Acta 7, 333 (1973)
  19. W.W. Brandt. Int. J. Heat Mass Transfer. 13, 1559 (1970)
  20. F. Ayguavives, B. Agius, B. Ea-Kim, I. Vickridge. J. Mater. Res. 16, 3005 (2001)
  21. С.А. Кукушкин, И.Ю. Тентилова, И.П. Пронин. ФТТ 54, 571 (2012)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.