Вышедшие номера
Влияние давления кислорода на текстуру пленки магнетита, выращенного методом реактивного осаждения на поверхности SiO2/Si(001)
Балашев В.В.1,2, Викулов В.А.1, Писаренко Т.А.1,2, Коробцов В.В.1,2
1Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, Владивосток, Россия
2Школа eстественных наук Дальневосточного федерального университета, Владивосток, Россия
Email: balashev@mail.dvo.ru
Поступила в редакцию: 2 июня 2015 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2015 г.

Методом реактивного осаждения Fe в атмосфере кислорода на окисленной поверхности подложки кремния Si(001) выращены пленки магнетита (Fe3O4) толщиной 75 nm. Рост пленок оксида железа проводился при разных значениях давления O2. Структура пленок контролировалась в процессе их роста методом дифракции быстрых электронов на отражение. Установлено, что только в определенном диапазоне давлений O2 наблюдается рост пленок магнетита с текстурой. Уменьшение давления кислорода приводит к росту пленки Fe3O4 без текстуры, тогда как реактивное осаждение при значениях давления выше верхней границы указанного диапазона приводит к формированию кристаллитов гематита (alpha-Fe2O3) в пленке Fe3O4.