Издателям
Вышедшие номера
Топология анодно сформированной окисной пленки на монокристалле кремния
Орлов А.М.1, Явтушенко И.О.1, Махмуд-Ахунов М.Ю.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Email: yavigor@mail.ru
Поступила в редакцию: 15 декабря 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Представлены результаты исследований морфологических свойств окисной пленки, полученной на монокристаллическом кремнии анодным окислением в дистиллированной воде в потенциостатическом режиме. Установлено, что оксидная пленка независимо от значения прикладываемого потенциала и времени анодной обработки всегда формируется в виде отдельных островков, форма которых зависит от ориентации подложки. Работа выполнена при финансовой поддержке РФФИ (грант N 13-02-97051 р_поволжье_а), а также Министерства образования и науки РФ.
  1. В. З. Анохин, Е. Г. Гончаров, Е. П. Кострюкова. Практикум по химии и технологии полупроводников. Высш. шк., М. (1978). 191 с
  2. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера, Р. Донована. Мир, М. (1969). 451 с
  3. S. Ono, M. Saito, M. Ishiguro, H. Asoh. J. Electrochem. Soc. 151, 473 (2004)
  4. А.Н. Белов, С.А. Гаврилов, В.И. Шевяков. Рос. нанотехнологии 1, 223 (2006)
  5. С.А. Гаврилов, А.Н. Белов. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Высш. образование, М. (2009). 257 с
  6. C. Panagopoulos, H. Badekas. Mater. Lett. 6, 7, 212 (1989)
  7. R.L. Smith, S.D. Collins. J. Appl. Phys. 8, R1 (1992)
  8. С.А. Алехин, И.М. Байбеков. "Живая" вода: мифы и реальность. Сборник N 6. МИС-РТ, Ташкент (1998). 212 с
  9. А.М. Орлов, А.А. Соловьев, А.А. Скворцов, И.О. Явтушенко. ФТТ 47, 1967 (2005)
  10. И.О. Явтушенко. Влияние внешних воздействий на динамику дислокаций в кремнии вблизи концентраторов напряжений. Канд. дис. Ульян. гос. ун-т, Ульяновск (2008). 116 с
  11. Л.И. Миркин Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов / Под ред. Я.С. Уманского. ГИФМЛ, М. (1961). 864 с
  12. Н.В. Румак, В. В. Хатько. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике. Навука i Tэхнiка, Минск (1990). 190 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.