Вышедшие номера
Формирование наноостровков и нанопроволок Ge на сингулярных и вицинальных поверхностях Si (111) до образования смачивающего слоя
Тийс С.А.1, Талочкин А.Б.1, Романюк К.Н.1, Ольшанецкий Б.З.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: teys@isp.nsc.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2003 г.

Методом сканирующей туннельной микроскопии исследовался рост наноостровков и нанопроволок Ge на сингулярных и вицинальных поверхностях Si (111). Возможность реализации островкового или многослойного механизма роста на этапе формирования смачивающего слоя Ge на Si (111) при потоках Ge около 10-3 BL/min и температурах эпитаксии 350-500oC позволил получить массивы островков высотой в 3 BL с плотностью 109-1012 cm-2. На вицинальных поверхностях Si (111) наблюдался рост нанопроволок Ge постоянной высоты с шириной, зависящей от величины покрытия Ge. Коэффициенты поверхностной диффузии адатомов Ge на поверхности Ge со структурой (5x 5) в несколько раз больше коэффициентов диффузии на поверхности со структурой (7x 7). В спектрах комбинационного рассеяния света на оптических фононах от поверхности с островками высотой в 3 BL наблюдалась серия линий, связанных с квантованием фононного спектра в направлении роста [111]. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (гранты N 01-02-16844-a и 03-02-16506-a), Министерством промышленности, науки и технологий (госконтракт N 40.012.1.1.1153).