Вышедшие номера
Диагностика атомной структуры металлических мультислойных наногетероструктур по данным рефлектометрии: новый подход к низкоконтрастным системам
Бабанов Ю.А.1, Саламатов Ю.А.1, Устинов В.В.1, Мухамеджанов Э.Х.
1Институт физики металлов им. М.Н. Михеева Уральского отделения Российской академии наук, Екатеринбург, Россия
Поступила в редакцию: 23 октября 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2014 г.

Разработан новый метод определения концентрационного профиля элементов металлических многослойных наногетероструктур для низкоконтрастных систем по данным рентгеновской рефлектометрии. Метод основан на решении интегрального уравнения Фредгольма первого рода, связывающего коэффициент отражения с концентрационными профилями элементов, входящих в состав образца. Обратная некорректная задача по определению концентрационного профиля решается методом регуляризации. Эффективность предлагаемого метода подтверждается модельными расчeтами, выполненными для четырeхслойной структуры Cr/Gd/Fe/Cr//Si, где имеются как высококонтрастные пары (Cr/Gd), так и пары с низкой контрастностью (Fe/Cr). Получены экспериментальные результаты по определению концентрационного профиля поверхностного слоя тонких эпитаксиальных плeнок Cr и трeхслойной структуры Cr/Fe/Cr, нанесeнных на подложку Al2O3. Измерения выполнены в Курчатовском центре синхротронного излучения и нанотехнологий (Москва). Работа выполнена при поддержке Программы фундаментальных исследований Президиума РАН "Основы фундаментальных исследований нанотехнологий и наноматериалов" (проект N 12-П-2-1032), РФФИ (грант N 12-02-31563-мол_а) и Президентской программы ведущих научных школ НШ-6172.2012.2.