Вышедшие номера
Влияние ионной имплантации P+, B+ и N+ на люминесцентные свойства системы SiO2 : nc-Si
Тетельбаум Д.И.1, Горшков О.Н.1, Бурдов В.А.1, Трушин С.А.1, Михайлов А.Н.1, Гапонова Д.М.2, Морозов С.В.2, Ковалев А.И.3
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
3Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии, Москва, Россия
Email: Tetelbaum@phys.unn.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2003 г.

Рассмотрены и систематизированы возможные механизмы влияния примесей пятой и третьей групп таблицы Менделеева на люминесцентные свойства системы нанокристаллов кремния в SiO2. Приведены экспериментальные данные по влиянию ионной имплантации бора и азота на интенсивность фотолюминесценции. Эти данные вместе с ранее опубликованными результатами изучения ионного легирования фосфором обсуждаются с точки зрения указанных механизмов. Приведены также результаты по определению состояния имплантированного фосфора, полученные методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Показано, что усиление или ослабление фотолюминесценции зависит как от сорта легирующей примеси, так и от условий постимплантационной термообработки. Работа выполнена при поддержке фонда INTAS (грант N 00-0064) и программы Минобразования РФ "Научные исследования высшей школы в приоритетных направлениях науки и техники" (подпрограмма 205).
  1. M. Fujii, S. Hayashi, K. Yamamoto. J. Appl. Phys. 83, 7953 (1998)
  2. M. Fujii, A. Mimura, S. Hayashi, K. Yamamoto. Appl. Phys. Lett. 75, 2, 184 (1999)
  3. A. Mimura, M. Fujii, S. Hayashi, D. Kovalev, F. Koch. Phys. Rev. B 62, 19, 12 625 (2000)
  4. Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, К.С. Журавлев. M.-O. Ruault. ФТП 35, 10, 1235 (2001)
  5. D.I. Tetelbaum, O.N. Gorshkov, S.A. Trushin, D.G. Revin, D.M. Gaponova, W. Eckstein. Nanotechnology 11, 295 (2000)
  6. D.I. Tetelbaum, S.A. Trushin, V.A. Burdov, A.I. Golovanov, D.G. Revin, D.M. Gaponova. Nucl. Instr. Meth. B 174, 123 (2001)
  7. В.А. Бурдов, О.Н. Горшков, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум, С.А. Трушин, Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, Д.М. Гапонова. Изв. РАН. Сер. физ. 67, 2, 186 (2003)
  8. G.A. Kachurin, I.E. Tischenko, K.S. Zhuravlev, N.A. Pazdnikov, V.A. Volodin, A.K. Gutakovsky, A.F. Leiser, W. Skorupa, R.A. Yankov. Nucl. Instr. Meth. B 122, 571 (1997)
  9. K.S. Min, K.V. Scheglov, C.M. Yang, H.A. Atwater, M.L. Brongersma, A. Polman. Appl. Phys. Lett. 69, 2033 (1996)
  10. B. Garrido Fernandez, M. Lopez, C. Garcia, A. Perez-Rodriguez, J.R. Morante, C. Bonafos, M. Carrada, A. Claverie. J. Appl. Phys. 91, 2, 798 (2002)
  11. T. Shimizu-Iwayama, K. Fujita, S. Nakao, K. Saitoh, R. Fujita, N. Itoh. J. Appl. Phys. 75, 7779 (1994)
  12. Y. Kanemitsu, S. Okamato. Phys. Rev. B 58, 9652 (1998)
  13. M. Lannoo, C. Delerue, G. Allan, J. Lumin. 70, 170 (1996)
  14. Г.А. Качурин, С.Г. Яновская, Д.И. Тетельбаум, А.Н. Михайлов. ФТП 37, 6, 738 (2003)
  15. Л.С. Смирнов. Вопросы радиационной технологии полупроводников. Наука, Новосибирск (1980). 296 с
  16. D.I. Tetelbaum, S.A. Trushin, A.N. Mikhaylov, V.K. Vasil'ev, G.A. Kachurin, S.G. Yanovskaya, D.M. Gaponova. Physica E: Low-dim. Syst. Nanostruct. 16, 3--4. 410 (2003)
  17. J.B. Beales, C.R. Day. Phys. Chem. Glass. 21, 1, 5 (1980).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.