Издателям
Вышедшие номера
Эффект Пула--Френкеля с учетом многофононной ионизации глубоких центров в аморфном нитриде кремния
Новиков Ю.Н.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: nov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 25 января 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.

Для описания проводимости аморфного нитрида кремния использовался механизм Пула--Френкеля без учета и с учетом многофононной ионизации глубоких центров. Рассмотрена зависимость частотного фактора от силы электрон-фононного взаимодействия. С учетом слабой электрон-фононной связи в глубоких центрах получена величина частотного фактора nu~ 1015 s-1, которая согласуется с оценками в оригинальной работе Френкеля. Работа поддержана Интеграционным проектом N 116 СО РАН.
  • Я.И. Френкель. ЖЭТФ 8, 12, 1292 (1938)
  • В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. Безызлучательная рекомбинация в полупроводниках. Изд-во ПИЯФ РАН, СПб. (1997). 375 с.
  • S.M. Sze. J. Appl. Phys. 38, 7, 2951 (1967)
  • B.M. Tao, D. Park, S.N. Mohammad et al. Phil. Mag. 73, 4, 723 (1996)
  • А.С. Гиновкер, В.А. Гриценко, С.П. Синица. Микроэлектроника 2, 4, 283 (1973)
  • В.А. Гриценко, Е.Е. Меерсон. Микроэлектроника 17, 6, 532 (1988)
  • P.C. Arnett, B.H. Yun. Appl. Phys. Lett. 26, 3, 94 (1974)
  • C.M. Svensson. J. Appl. Phys. 48, 1, 329 (1977)
  • В.М. Масловский, А.П. Нагин, Ю.Р. Чернышев. Микроэлектроника 14, 3, 239 (1985)
  • K.A. Nasyrov, V.A. Gritsenko, M.K. Kim et al. IEEE Electron. Dev. Lett. 23, 336 (2002)
  • В.А. Гриценко, Е.Е. Меерсон, И.В. Травков и др. Микроэлектроника 16, 1, 42 (1987)
  • H. Bachhofer, H. Reisinger, E. Bertagnolli et al. J. Appl. Phys. 89, 5, 2791 (2001)
  • S. Manzini. J. Appl. Phys. 62, 3278 (1987)
  • Ross A. Williams, Moiz M.E. Beguwala. IEEE Trans. Electron. Dev. ED-25, 1019 (1978)
  • В.А. Гуртов, А.И. Назаров, П.А. Райкерус. Микроэлектроника 16, 3, 269 (1987)
  • V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, R 2081 (1998)
  • P.C. Arnett. J. Appl. Phys. 46, 12, 5236 (1975)
  • В.Н. Абакумов, В. Карпус, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. ФТП 22, 2, 262 (1988)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.