Вышедшие номера
Эффект Пула--Френкеля с учетом многофононной ионизации глубоких центров в аморфном нитриде кремния
Новиков Ю.Н.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: nov@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 25 января 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.

Для описания проводимости аморфного нитрида кремния использовался механизм Пула--Френкеля без учета и с учетом многофононной ионизации глубоких центров. Рассмотрена зависимость частотного фактора от силы электрон-фононного взаимодействия. С учетом слабой электрон-фононной связи в глубоких центрах получена величина частотного фактора nu~ 1015 s-1, которая согласуется с оценками в оригинальной работе Френкеля. Работа поддержана Интеграционным проектом N 116 СО РАН.
  1. Я.И. Френкель. ЖЭТФ 8, 12, 1292 (1938)
  2. В.Н. Абакумов, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. Безызлучательная рекомбинация в полупроводниках. Изд-во ПИЯФ РАН, СПб. (1997). 375 с.
  3. S.M. Sze. J. Appl. Phys. 38, 7, 2951 (1967)
  4. B.M. Tao, D. Park, S.N. Mohammad et al. Phil. Mag. 73, 4, 723 (1996)
  5. А.С. Гиновкер, В.А. Гриценко, С.П. Синица. Микроэлектроника 2, 4, 283 (1973)
  6. В.А. Гриценко, Е.Е. Меерсон. Микроэлектроника 17, 6, 532 (1988)
  7. P.C. Arnett, B.H. Yun. Appl. Phys. Lett. 26, 3, 94 (1974)
  8. C.M. Svensson. J. Appl. Phys. 48, 1, 329 (1977)
  9. В.М. Масловский, А.П. Нагин, Ю.Р. Чернышев. Микроэлектроника 14, 3, 239 (1985)
  10. K.A. Nasyrov, V.A. Gritsenko, M.K. Kim et al. IEEE Electron. Dev. Lett. 23, 336 (2002)
  11. В.А. Гриценко, Е.Е. Меерсон, И.В. Травков и др. Микроэлектроника 16, 1, 42 (1987)
  12. H. Bachhofer, H. Reisinger, E. Bertagnolli et al. J. Appl. Phys. 89, 5, 2791 (2001)
  13. S. Manzini. J. Appl. Phys. 62, 3278 (1987)
  14. Ross A. Williams, Moiz M.E. Beguwala. IEEE Trans. Electron. Dev. ED-25, 1019 (1978)
  15. В.А. Гуртов, А.И. Назаров, П.А. Райкерус. Микроэлектроника 16, 3, 269 (1987)
  16. V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, R 2081 (1998)
  17. P.C. Arnett. J. Appl. Phys. 46, 12, 5236 (1975)
  18. В.Н. Абакумов, В. Карпус, В.И. Перель, И.Н. Яссиевич. ФТП 22, 2, 262 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.