Физика твердого тела
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Образование островковых структур при осаждении слабопересыщенных паров алюминия
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина 
2Сумский государственный аграрный университет, Сумы, Украина
2Сумский государственный аграрный университет, Сумы, Украина
Email: kpe@ssu.sumy.ua
Поступила в редакцию: 18 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.
Методом просвечивающей и растровой электронной микроскопии, а также микродифракции электронов изучено образование островковых структур при осаждении слабопересыщенных паров Al. Получение слоев производилось методом магнетронного распыления на постоянном токе в среде высокоочищенного Ar. Установлены условия образования статистически однородных слоев нанокристаллов в зависимости от температуры осаждения, парциальных давлений Ar и химически активных газов. Получены соотношения, на основании которых проведены расчеты краевого контактного угла островков с подложкой в зависимости от температуры конденсации. Работа выполенена при финансировании Министерства образования и науки Украины (проект N 84.02.04.00-02).
- Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. Механизм образования и структура конденсированных пленок. Наука, М. (1972). 318 с
- Ю.Ф. Комник. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты. Атомиздат, М. (1979). 264 с
- С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. УФН 168, 10, 1083 (1998)
- В.С. Коган, А.А. Сокол, В.М. Шулаев. Влияние вакуумных условий на формирование структуры конденсатов. Структура металлических пленок, легированных газами: Обзор. ЦНИИатоминформ, М. (1987). Ч. 2
- А.В. Коропов, П.Н. Остапчук, В.В. Слезов. ФТТ 33, 10, 2835 (1991)
- А.В. Коропов, В.В. Сагалович. Поверхность 2, 17 (1990); 5, 55 (1989); 6, 50 (1987)
- Технология тонких пленок (справочник) / Под ред. Л. Майселла, Р. Гленга. Советское радио, М. (1977). Т. 2. 663 с
- В.И. Перекрестов, С.Н. Кравченко. Вопросы атомной науки и техники 4, 80 (2001)
- Дж.П. Хирс, С.Дж. Хруска, Г.М. Паунд. В сб.: Монокристаллические пленки. Мир, М. (1966). С. 15
- В.И. Перекрестов, С.Н. Кравченко, А.В. Павлов. ФММ 88, 5, 72 (1999)
- Б.С. Данилин. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. Энергоатомиздат, М. (1989). 328 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
