Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Образование островковых структур при осаждении слабопересыщенных паров алюминия

Перекрестов В.И.¹, Коропов А.В.², Кравченко С.Н.¹

¹Сумский государственный университет, Сумы, Украина Sumy State University, Sumy, Ukraine

²Сумский государственный аграрный университет, Сумы, Украина

Email: kpe@ssu.sumy.ua

Поступила в редакцию: 18 мая 2001 г.

Выставление онлайн: 20 мая 2002 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Методом просвечивающей и растровой электронной микроскопии, а также микродифракции электронов изучено образование островковых структур при осаждении слабопересыщенных паров Al. Получение слоев производилось методом магнетронного распыления на постоянном токе в среде высокоочищенного Ar. Установлены условия образования статистически однородных слоев нанокристаллов в зависимости от температуры осаждения, парциальных давлений Ar и химически активных газов. Получены соотношения, на основании которых проведены расчеты краевого контактного угла островков с подложкой в зависимости от температуры конденсации. Работа выполенена при финансировании Министерства образования и науки Украины (проект N 84.02.04.00-02).

Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. Механизм образования и структура конденсированных пленок. Наука, М. (1972). 318 с
Ю.Ф. Комник. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты. Атомиздат, М. (1979). 264 с
С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. УФН 168, 10, 1083 (1998)
В.С. Коган, А.А. Сокол, В.М. Шулаев. Влияние вакуумных условий на формирование структуры конденсатов. Структура металлических пленок, легированных газами: Обзор. ЦНИИатоминформ, М. (1987). Ч. 2
А.В. Коропов, П.Н. Остапчук, В.В. Слезов. ФТТ 33, 10, 2835 (1991)
А.В. Коропов, В.В. Сагалович. Поверхность 2, 17 (1990); 5, 55 (1989); 6, 50 (1987)
Технология тонких пленок (справочник) / Под ред. Л. Майселла, Р. Гленга. Советское радио, М. (1977). Т. 2. 663 с
В.И. Перекрестов, С.Н. Кравченко. Вопросы атомной науки и техники 4, 80 (2001)
Дж.П. Хирс, С.Дж. Хруска, Г.М. Паунд. В сб.: Монокристаллические пленки. Мир, М. (1966). С. 15
В.И. Перекрестов, С.Н. Кравченко, А.В. Павлов. ФММ 88, 5, 72 (1999)
Б.С. Данилин. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. Энергоатомиздат, М. (1989). 328 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель