Вышедшие номера
Исследование двулучепреломления в слоях пористого кремния методом инфракрасной Фурье-спектроскопии
Кузнецова Л.П.1, Ефимова А.И.1, Осминкина Л.А.1, Головань Л.А.1, Тимошенко В.Ю.1, Кашкаров П.К.1
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: kuzl@vega.phys.msu.su
Поступила в редакцию: 28 июня 2001 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2002 г.

Методом инфракрасной Фурье-спектроскопии исследуется двулучепреломление в слоях пористого кремния, приготовленных при различных токах травления на подложке с ориентацией поверхности (110). В полученных спектрах наблюдаются биения для интенсивности прошедшего и отраженного излучения, возникающие вследствие сложения интенсивностей обыкновенной и необыкновенной волн, интерферирующих в пористом слое. Анализ спектров показывает, что исследуемые слои проявляют свойства отрицательного односного кристалла, оптическая ось которого лежит в плоскости слоя. Для слоев с пористостью 80% величина разности показателей преломления обыкновенной и необыкновенной волн достигает 18%. Экспериментальные результаты хорошо согласуются с расчетами на основе модели эффективной среды, учитывающей анизотропию расположения кремниевых нанокристаллов в пористом слое. Работа поддержана программой "Полупроводниковые наноструктуры" Министерства промышленности, науки и технологии РФ и грантом CRDF N RP2-2275.
  1. C. Pickering, M.I.J. Beale, D.J. Robbins, P.J. Pearson, R. Greef. J. Phys. C17, 6535 (1984)
  2. A.G. Cullis, L.T. Canham, P.D.J. Calcott. J. Appl. Phys. 82, 909 (1997)
  3. W. Theib. Surf. Sci. Rep. 29, 91 (1997)
  4. D. Kovalev, H. Heckler, G. Polisski, F. Koch. Phys. Stat. Sol. (b) 215, 817 (1999)
  5. М.Е. Компан, Я. Салонен, И.Ю. Шабанов. ЖЭТФ 117, 2, 368 (2000)
  6. О.Г. Сарбей, Е.К. Фролова, Р.Д. Федорович, Д.Б. Данько. ФТТ 42, 7, 1205 (2000)
  7. D. Kovalev, G. Polisski, J. Diener, H. Heckler, N. Kunzner, V.Yu. Timoshenko, F. Koch. Appl. Phys. Lett. 78, 916 (2001)
  8. A.V. Ghiner, G.I. Surdurovich. Braz. J. Phys. 24, 344 (1994)
  9. М. Борн, Э. Вольф. Основы оптики. Наука, М. (1970)
  10. Ф. Цернике, Дж. Миндвинтер. Прикладная нелинейная оптика. Мир, М. (1976)
  11. Таблицы физических величин / Под ред. акад. И.К. Кикоина. Атомиздат, М. (1976).
  12. D.A.G. Bruggeman. Annalen der Physik 24, 636 (1935)
  13. C.D. Salzberg. J. Opt. Soc. Am. 47, 244 (1957)
  14. L.A. Golovan, V.Yu. Timoshenko, A.B. Fedotov, L.P. Kuznetsova, D.A. Sidorov-Biryukov, P.K. Kashkarov, A.M. Zheltikov, D. Kovalev, N. Kunzner, E. Gross, J. Diener, G. Polisski, F. Koch. Appl. Phys. B73, 31 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.