Издателям
Вышедшие номера
Сегнетоэлектрические пленки титаната свинца на монокристаллическом кремнии
Сидоркин А.С.1, Сигов А.С.2, Ховив А.М.1, Яценко О.Б.1, Логачева В.А.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Московский институт радиотехники, электроники и автоматики, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Изучены фазовые превращения, происходящие в тонкопленочных структурах Pb/Ti/Si и Ti/Pb/Si при послойном магнетронном напылении свинца и титана на подложку монокристаллического кремния и последующем отжиге в атмосфере кислорода. Показано, что диэлектрические свойства пленок зависят от последовательности напыления указанных металлических слоев. Сегнетоэлектрическими свойствами обладали пленки толщиной порядка 3000 nm, полученные в процессе двухступенчатого отжига при T1=473 K и T2=973 K в течение 10 min тонкопленочной гетероструктуры Pb/Ti/Si с внешним слоем свинца. Значения коэрцитивного поля и спонтанной поляризации для такой пленки составляли Ec=4.8 kV/cm, Ps=16.8 muC/cm2. Пленки, полученные в результате отжига тонкопленочной гетероструктуры Ti/Pb/Si с внешним слоем титана, проявляли свойства типичного диэлектрика и не обладали сегнетоэлектрическими свойствами. Работа выполнена при поддержке гранта Нидерландской организации по научным исследованиям (NWO) "Nonlinear dielectric films for nanotechnology" и гранта Российского фонда фундаментальных исследований N 01-02-16828.
  1. X. Meng, Z. Huang, H. Ye, J. Cheng, P. Yang, J. Chu. Mater. Res. Soc. Symp. 541, 723 (1999)
  2. A. Okada. J. Appl. Phys., 48, 7, 2905 (1997)
  3. T.L. Ren, L.T. Zhang, L.T. Liu, Z.J. Li. J. Phys. D: Appl. Phys. 33, 15, L77 (2000)
  4. C. Byun, J.W. Jang, Y.J. Cho, K.J. Lee, B.W. Lee. Thin Solid Films 324, 94 (1998)
  5. A. li, D. Wu, C.Z. Ge, H. Wang, Min Wang, Mu Wan, Z. Liu, N. Ming. Thin Solid Films 375, 220 (2000)
  6. Y.S. Yoon, S.S. Yom, T.W. Kim, D.U. Lee, C.D. Kim. Appl. Surf. Sci. 93, 285 (1996)
  7. А.С. Сидоркин, А.С. Сигов, А.М. Ховив, С.О. Яценко, О.Б. Яценко. ФТТ 42, 4, 727 (2000)
  8. Ш. Мьюрарка. Силициды для СБИС. Мир, М.: (1986). 176 с
  9. П.А. Щеглов, С.А. Меньших, Л.Ф. Рыбакова, Ю.Я. Тамашпольский. Неорган. материалы 36, 4, 470 (2000)
  10. F.M. Pontes, J.H.G. Rangel, E.R. Leite, E. Longo, J.A. Varela, E.B. Araujo, J.A. Eiras. Thin solid Films 366, 232 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.