Анализ структуры композитных металл-диэлектрических материалов методом малоуглового рентгеновского рассеяния
Рожанский И.В.1, Закгейм Д.А.1, Василевская Т.Н.2, Гуревич С.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт химии силикатов им. И.В. Гребенщикова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: igor@quantum.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 5 октября 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.
Методом малоуглового рентгеновского рассеяния исследовалась структура композитных пленок Cu : SiO2, полученных с использованием технологии одновременного магнетронного напыления. Экспериментальные спектры анализируются на основе прямого численного моделирования рассеяния на полидисперсной системе сферических частиц с высокой объемной концентрацией. В предположении "log-нормального" распределения частиц по размерам получено хорошее совпадение расчетных спектров рассеяния с экспериментальными и определены параметры этого распределения. Работа поддержана Российским фондом фундаментальных исследований (грант N 98-02-18210) и программой "Физика твердотельных наноструктур" МН РФ (гранты N 97-2014 и 97-1035).
- B. Abeles, P. Sheng, M.D. Coutts, Y. Arie. Phys. 24, 407 (1975)
- D.V. Averin, K.K. Likharen. Mesoscopic Phenomena in Solids / Ed. B. Al'tschuler, P. Lee and R. Webb. Elsevier, Amsterdam (1991). P. 169
- S.V. Vyshenski. Письма в ЖЭТФ 61, 111 (1996)
- И.М. Лифшиц, В.В. Слезов. ЖЭТФ 35, 479 (1958)
- Д.А. Закгейм, И.В. Рожанский, И.П. Смирнова, С.А. Гуревич. ЖЭТФ 91, 553 (2000)
- Д.И. Свергун, Л.А. Фейтин. Рентгеновское и нейтронное малоугловое рассеяние. Наука, М. (1986). 280 с
- J.H. Letscher, P.W. Schmidt. J. Appl. Phys. 37, 649 (1966)
- J.K. Percus, G.J. Yevick. Phys. Rev. 110, 1 (1958)
- D. Frenkel, R.J. Vos, C.G. de Kruif, A. Vrij. J. Chem. Phys. 84, 4625 (1986)
- С.А. Гуревич, А.И. Екимов, И.А. Кудрявцев, Н.А. Берт, М.В. Ватник, О.Г. Люблинская, А.В. Осинский, Н.Н. Фалеев. ФТП 26, 102 (1992)
- Т.Н. Василевская, С.Г. Ястребов, Н.С. Андреев, И.А. Дроздова, Т.К. Звонарева, В.Н. Филипович. ФТТ 41, 2088 (1999)
- F. Zernike, J.A. Prinz. Z. Phys. 41, 184 (1927)
- Дж. Займан. Модели беспорядка. Мир, М. (1982). 592 с
- C.G. Granqvist, R.A. Buhrman. J. Appl. Phys. 47, 2200 (1976)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.