Кинетика фазовых превращений при термическом отжиге в тонких золь-гель-пленках PZT
Шур В.Я.1, Бланкова Е.Б.1, Субботин А.Л.1, Борисова Е.А.1, Баранников А.В.1
1Научно-исследовательский институт физики и прикладной математики при Уральском государственном университете, Екатеринбург, Россия
Email: Vladimir.Shur@usu.ru
Поступила в редакцию: 24 августа 2000 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2001 г.
Исследованы изменение морфологии поверхности и кинетика фазового превращения в золь-гель тонких пленках цирконата-титаната свинца (PZT) в процессе быстрого термического отжига с помощью in situ измерений интенсивности отраженного рассеянного света и регистрации последовательных мгновенных изображений, полученных с помощью оптического микроскопа. Кроме того, изучалось изменение степени совершенства текстуры, доли растущей фазы и угловой зависимости интенсивности рассеянного света в частично отожженных образцах. Параметры, характеризующие кинетику фазового превращения пирохлор-перовскит, извлекались с помощью математической обработки экспериментальных данных. Показано, что кинетика фазового превращения и кристаллическая текстура пленок существенно зависят от температуры пиролиза. Рассмотрен механизм формирования текстуры. Работа выполнена при частичной поддержке программы "Университеты России: фундаментальные исследования" (грант N 5563), Министерства образования РФ (грант N 97-0-7.1-236) и Американского фонда гражданских исследований и развития независимых государств бывшего Советского Союза (грант N REC-005).
- K.G. Brooks, I.M. Reaney, R. Klissurka, Y. Huang, L. Bursill, N. Setter. J. Mater. Res. 9, 2540 (1994)
- J. Chen, K.R. Udayakumar, K.G. Brooks, L.E. Cross. J. Appl. Phys. 71, 4465 (1992)
- E. Griswold, L. Weaver, M. Sayer, F. Czerwinski. J. Szpunar. Micron 26, 559 (1995)
- M. Huffman, F.D. Gealy, L. Kammerdiner, P. Zurcher, J.C. Zhu, M. Al-Jassim, C.J. Echer. Ferroelectrics 134, 303 (1992)
- M. Klee, P.K. Larsen. Ferroelectrics 133, 91 (1992)
- A.P. Wilkinson, J.S. Speck, A.K. Cheetham, S. Natarajan, J.M. Thomas. Chem. Mater. 6, 750 (1994)
- S. Trolier-McKinstry, J. Chen, K. Vedam, R. Newnham. J. Amer. Ceram. Soc. 78, 1907 (1995)
- M. Libera, M. Chen. J. Appl. Phys. 73, 2272 (1993)
- V.Ya. Shur, S.A. Negashev, E.L. Rumyantsev, A.L. Subbotin, S.D. Makarov. Ferroelectrics 169, 63 (1995)
- V.Ya. Shur, S.A. Negashev, A.L. Subbotin, E.A. Borisova, S. Trolier-McKinstry. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 433, 351 (1996)
- V.Ya. Shur, S.A. Negashev, A.L. Subbotin, E.A. Borisova. Ferroelectrics 196, 183 (1997)
- И.П. Пронин, Н.В. Зайцева, Е.Ю. Каптелов, В.П. Афанасьев. Изв. РАН. Сер. физ. 61, 2, 379 (1997)
- V.Ya. Shur, E.B. Blankova, A.L. Subbotin, E.A. Borisova, D.V. Pelegov, S. Hoffmann, D. Bolten, R. Gerhardt, R.J. Waser. Europ. Ceram. Soc. 19, 1391 (1999)
- В.Я. Шур, С.А. Негашев, А.Л. Субботин, Д.В. Пелегов, Е.А. Борисова, Е.Б. Бланкова, С. Тролиер-Мак Кинстри. ФТТ 41, 2, 306 (1999)
- А.Н. Колмогоров. Изв. АН СССР. Сер. мат. 3, 355 (1937)
- M. Avrami. J. Chem. Phys. 7, 1103 (1939)
- V.Ya. Shur, E.L. Rumyantsev, S.D. Makarov. J. Appl. Phys. 84, 1, 445 (1998)
- C.V.R. Kumar, R. Pascual, M. Sayer. J. Appl. Phys. 71, 2, 864 (1992).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук