Вышедшие номера
Генерация термодоноров в кремнии: влияние собственных межузельных атомов
Воронков В.В.1, Воронкова Г.И.1, Батунина А.В.1, Головина В.Н.1, Мильвидский М.Г.1, Гуляева А.С.1, Тюрина Н.Б.1, Арапкина Л.В.1
1Государственный научно-исследовательский институт редких металлов (ГИРЕДМЕТ), Москва, Россия
Email: icpm@mail.girmet.ru
Поступила в редакцию: 10 апреля 2000 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2000 г.

Генерация низкотемпературных термодоноров (ТД) в кремнии чувствительна к скорости охлаждения образцов (от температуры отжига до комнатной) и к атмосфере (воздух или вакуум). Этот эффект наиболее четко выражен в случае отжига при 500oC, заметен при 480oC, но почти отсутствует при 450oC. Результаты хорошо объясняются ускорением процесса генерации ТД в присутсвии собственных межузельных атомов кремния (Si). Эти атомы эмиттируются термодонорами и затем поглощаются стоками - поверхностью образца и объемными микродефектами (вакансионными порами). При отжиге в вакууме основным стоком является поверхность. При отжиге на воздухе этот сток "пассивирован" благодаря окислению и/или загрязнению, и главным стоком становятся поры; в результате концентрация атомов SiI существенно возрастает и скорость генерации увеличивается. Быстрое охлаждение образцов приводит к частичной пассивации пор (вследствие их декодирования быстро диффундирующими примесями) и к дополнительному увеличению скорости генерации. Расчетные кинетические кривые, полученные в рамках данной модели, хорошо описывают эксперимент.