Морфологическая перестройка слоя германия на кремнии при низких температурах молекулярно-пучковой эпитаксии
Бурбаев Т.М.1, Курбатов В.А.1, Рзаев М.М.1, Погосов А.О.1, Сибельдин Н.Н.1, Цветков В.А.1, Lichtenberger H.2, Schaffler F.2, Leitao J.P.3, Sobolev N.A.3, Carmo M.C.3
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
2Institut fur Halbleiter- und Festkorperphysik, Johannes Kepler Universitat, Linz, Austria
3Department of Physics, University of Aveiro, Aveiro, Portugal
Email: burbaev@mail1.lebedev.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.
Методами фотолюминесценции и атомно-силовой микроскопии исследованы Si/Ge-наноструктуры, выращенные при низких (<350oC) температурах молекулярно-пучковой эпитаксии, при различной толщине слоя германия. Обнаружена морфологическая перестройка слоя германия при достижении его толщины ~ 5 монослоев: островковый рельеф сменяется гладким волнообразным рельефом. Работа выполнена при поддержке INTAS (проект N 03-51-5015), Российского фонда фундаментальных исследований (проекты N 03-02-20007, 03-02-17191), программы НКС РАН и FCT Португалии (проект N 41574/2001).
- О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП 34, 11, 1281 (2000)
- G. Abstreiter, P. Schittenhelm, C. Engel, E. Silveira, A. Zrenner, D. Meertens, W. Jager. Semicond. Sci. Technol. 11, 1521 (1996)
- P. Schittenhelm, C. Engel, F. Findeis, G. Abstreiter, A.A. Darhuber, G. Bauer, A.O. Kosogov, P. Werner. J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3, 1575 (1998)
- O.G. Schmidt, C. Lange, K. Eberl. Appl. Phys. Lett. 75, 1905 (1999)
- А.В. Двуреченский, А.И. Якимов. ФТП 35, 9, 1143 (2001)
- А.Г. Макаров. Н.Н. Леденцов, А.Ф. Цацульников, Г.Э. Цырлин, В.А. Егоров, Н.Д. Захаров, P. Werner. ФТП 37, 2, 219 (2003)
- V.A. Markov, H.H. Cheng, Chin-ta Chia, A.I. Nikiforov, V.A. Cherepanov, O.P. Pchelyakov, K.S. Zhuravlev, A.B. Talochkin, E. McGlynn, M.O. Henry. Thin Solid Films 369, 79 (2000)
- Т.М. Бурбаев, Т.Н. Заварицкая, В.А. Курбатов, Н.Н. Мельник, В.А. Цветков, К.С. Журавлев, В.А. Марков, А.И. Никифоров. ФТП 35, 8, 979 (2001)
- M.M. Rzaev, T.M. Burbaev, V.A. Kurbatov, N.N. Melnik, M. Muhlberger, A.O. Pogosov, F. Schaffler, N.N. Sibeldin, V.A. Tsvetkov, P. Werner, N.D. Zakharov, T.N. Zavaritskaya. Phys. Stat. Sol. (c) 0, 1262 (2003)
- Т.М. Бурбаев, В.А. Курбатов, А.О. Погосов, М.М. Рзаев, Н.Н. Сибельдин, В.А7 Цветков. ФТТ 46, 1, 74 (2004)
- L. Vescan, M. Gorlin, T. Stoica, P. Gartner, K. Grimm, O. Chrieten, E. Matveeva, C. Dieker, B. Hollander. Appl. Phys. A 71, 423 (2000)
- K. Thonke, J. Weber, J. Wagner, R. Sauer. Physica B 116, 252 (1983)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.