Вышедшие номера
Получение наноостровков Ge ультрамалых размеров с высокой плотностью на атомарно-чистой поверхности окиси Si
Никифоров А.И.1, Ульянов В.В.1, Пчеляков О.П.1, Тийс С.А.1, Гутаковский А.К.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: nikif@isp.nsc.ru
Выставление онлайн: 20 декабря 2004 г.

Приведены экспериментальные результаты исследований начальных стадий роста пленки германия на атомарно-чистой окисленной поверхности кремния. Показано, что в данной системе рост пленки германия происходит в соответствии с механизмом Фольмера--Вебера. На окисленной поверхности кремния образуются упругонапряженные островки с латеральным размером менее 10 nm и плотностью 2·1012 cm-2. При толщинах пленки более 5 монослоев наряду с ними образуются островки германия с латеральными размерами до 200 nm и плотностью 1.5·109 cm-2, которые полностью срелаксированы. Работа выполнена при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (гранты N 03-02-16468 и 03-02-16506) и INTAS (грант N 03-51-5051).
  1. D.J. Eaglesham, M. Cerullo. Phys. Rev. Lett. 64, 1943 (1990)
  2. A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, O.P. Pchelyakov. Thin Solid Films 336, 332 (1998)
  3. A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, Yu.Yu. Proskuryakov. J. Appl. Phys. 89, 5676 (2001)
  4. А.И. Якимов, А.В. Двуреченский, А.И. Никифоров, С.В. Чайковский, С.А. Тийс. ФТП 37, 1383 (2003)
  5. J.J. Lander, J. Morrison. J. Appl. Phys. 33, 2098 (1962)
  6. Y. Wei, M. Wallace, A.C. Seabaugh. J. Appl. Phys. 81, 6415 (1997)
  7. A.A. Shklyaev, M. Shibata, M. Ichikawa. Phys. Rev. B 62, 43, 1540 (2000)
  8. A. Barski, M. Derivaz, J.L. Rouviere, D. Buttard. Appl. Phys. Lett. 77, 3541 (2000)
  9. H. Watanabe, T. Baba. Appl. Phys. Lett. 74, 3284 (1999)
  10. A.I. Nikiforov, V.A. Cherepanov, O.P. Pchelyakov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Yakimov. Thin Solid Films 380, 158 (2000)
  11. А.И. Никифоров, В.В. Ульянов, О.П. Пчеляков, С.А. Тийс, А.К. Гутаковский. ФТТ 46, 80 (2004)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.