Исследование изменений состава мишени высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O при ионном распылении
Воробьев А.К.1, Гапонов С.В.1, Дроздов М.Н.1, Клюенков Е.Б.1, Мастеров Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 22 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.
Методом электронной оже-спектроскопии исследуется элементный профиль мишеней высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O, подвергшихся ионно-плазменному распылению в магнетронной напылительной системе и ионно-лучевому распылению в камере оже-спектрометра. Установлено, что во всех случаях имеет место преимущественное распыление меди с образованием поверхностного измененного слоя и области обеднения медью. Предполагается, что формирование этой области происходит в результате интенсивной диффузии меди из объема к поверхностному измененному слою вследствие градиента концентрации. Работа выполнена в Институте физики микроструктур РАН в рамках программ ГКНТ "Актуальные направления в физике конденсированных сред" (направление "Сверхпроводимость", проект N 98064), "Поверхностные атомные структуры" и при поддержке РФФИ (грант N 99-02-18037).
- E. Waffenshmidt, K.H. Waffenshmidt, F. Arndt, E. Boeke, J. Musolf, X. He, M. Hueken, K. Heime. J. Appl. Phys. 75, 8, 4092 (1994)
- B. Schulte, M. Maul, P. Haussler, H. Adrian. Appl. Phys. Lett. 62, 6, 633 (1993).!! vadjust !!
- N.G. Chew, J.A. Edwards, R.G. Humphreys, J.S. Satchell, S.W. Goodyear, B. Dew, N.J. Exon, S. Hensen, M. Lenkens, G. Muller, S. Orbach-Werbig. IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 2, 1167 (1995)
- J. Hunder, O. Thomas, E. Mossang, P. Chaudouet, F. Weiss, D. Boursier, J.P. Senateur, M. Ostling, A. Gaskov. J. Appl. Phys. 74, 7, 4631 (1993)
- T. Yoshitake, W. Hattori, S. Tahara. J. Appl. Phys. 84, 4, 2176 (1998)
- J. Gao, W.H. Wong, J. Xhie. Appl. Phys. Lett. 67, 15, 2232 (1995)
- R.A. Rao, Q. Gan, C.B. Eom, Y. Suzuki, A.A. McDaniel, J.W.P. Hsu. Appl. Phys. Lett. 69, 25, 3911 (1996)
- C.S. Huang, T.Y. Tseng, B.C. Chung, C.H. Tsai, S.S. Hsu, I.N. Lin. J. Appl. Phys. 78, 12, 7181 (1995)
- А.К. Воробьев, Е.Б. Клюенков, В.В. Таланов, Э.Н. Ботин. Письма в ЖТФ 19, 15, 12 (1993)
- Технология тонких пленок (справочник) / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк (1970); [Пер. с англ. / Под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. Сов радио, М. (1977). Т. 1. 664 с.]
- М.Н. Дроздов, В.М. Данильцев, Н.Н. Салащенко, Н.И. Полушкин, О.И. Хрыкин, В.И. Шашкин. Письма в ЖТФ 21, 18, 1 (1995)
- Распыление твердых тел ионной бомдардировкой / Под ред. В.А. Молчанова. Мир, М. (1986). В. 2. 484 с
- N. Abdersen, P. Sigmund, K. Dan. Vid. Selsk. Math. Fys. Medd. 39, 3, 1 (1974)
- H.W. Pickering. J. Vac. Sci. Technol. 13, 618 (1976)
- P.S. Ho, J.E. Lewis, H.S. Wildman, J.K. Howard. Surf. Sci. 57, 393 (1976)
- R. Kelly. Nucl. Instrum. Methods. 132, 335 (1976)
- M. Shikita, R. Shimizu. Surf. Sci. 97, L363 (1980)
- N.Q. Lam Surface and Interface Analysis 12, 65 (1988)
- Masaki Maeda, Mikio Kadoi, Takuro Ikeda. J. J. Appl. Phys. 28, 8, 1417 (1989)
- В.И. Симонов, В.Н. Молчанов, Р.А. Тамазян. В кн: Кристаллы. Рост, структура, свойства. Сб. научн. трудов. Наука, М. (1993). С. 56
- Atsushi Ando, Koichiro Saiki, Keiji Ueno, Atsushi Koma. J. J. Appl. Phys. 27, 3, L304 (1988)
- J.R. Gavaler, J. Talvacchio, R.W. Weinert. IEEE Trans. on Appl. Supercond. 5, 2, 1173 (1995)
- Ю.Н. Дроздов, С.А. Павлов, А.Е. Парафин. Письма в ЖТФ 24, 1, 55 (1998)
- T.I. Selinder, G. Larsson, U. Helmersson. Appl. Phys. Lett. 52, 22 (1987)
- A.M. Kadin, P.H. Ballentine, J. Argana, R.C. Rath. IEEE Trans. on Appl. Supercond. 25, 2, 2437 (1989)
- H. Morita, K. Watanabe, Y. Murakami, Y. Koyanagi, K. Noto, H. Fujimori, Y. Muto. J. J. Appl. Phys. 28, 4, L628 (1989)
- Yu.N. Drozdov, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, Yu.N. Nozdrin, V.V. Talanov, A.K. Vorobiev. IEEE Trans. on Appl. Supercond. 7, 2, 1642 (1997)
- M.N. Drozdov, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, V.I. Luchin, D.V. Masterov, S.K. Saykov, A.K. Vorobiev. Presented at 98 Applied Superconductivity Conference. IEEE Trans. Appl. Supercond. in press
- А.К. Воробьев, С.В. Гапонов, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, В.И. Лучин, Д.В. Мастеров. Письма в ЖТФ 24, 24, 13 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.