Вышедшие номера
Исследование изменений состава мишени высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O при ионном распылении
Воробьев А.К.1, Гапонов С.В.1, Дроздов М.Н.1, Клюенков Е.Б.1, Мастеров Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 22 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

Методом электронной оже-спектроскопии исследуется элементный профиль мишеней высокотемпературного сверхпроводника Y-Ba-Cu-O, подвергшихся ионно-плазменному распылению в магнетронной напылительной системе и ионно-лучевому распылению в камере оже-спектрометра. Установлено, что во всех случаях имеет место преимущественное распыление меди с образованием поверхностного измененного слоя и области обеднения медью. Предполагается, что формирование этой области происходит в результате интенсивной диффузии меди из объема к поверхностному измененному слою вследствие градиента концентрации. Работа выполнена в Институте физики микроструктур РАН в рамках программ ГКНТ "Актуальные направления в физике конденсированных сред" (направление "Сверхпроводимость", проект N 98064), "Поверхностные атомные структуры" и при поддержке РФФИ (грант N 99-02-18037).
  1. E. Waffenshmidt, K.H. Waffenshmidt, F. Arndt, E. Boeke, J. Musolf, X. He, M. Hueken, K. Heime. J. Appl. Phys. 75, 8, 4092 (1994)
  2. B. Schulte, M. Maul, P. Haussler, H. Adrian. Appl. Phys. Lett. 62, 6, 633 (1993).!! vadjust !!
  3. N.G. Chew, J.A. Edwards, R.G. Humphreys, J.S. Satchell, S.W. Goodyear, B. Dew, N.J. Exon, S. Hensen, M. Lenkens, G. Muller, S. Orbach-Werbig. IEEE Trans. Appl. Supercond. 5, 2, 1167 (1995)
  4. J. Hunder, O. Thomas, E. Mossang, P. Chaudouet, F. Weiss, D. Boursier, J.P. Senateur, M. Ostling, A. Gaskov. J. Appl. Phys. 74, 7, 4631 (1993)
  5. T. Yoshitake, W. Hattori, S. Tahara. J. Appl. Phys. 84, 4, 2176 (1998)
  6. J. Gao, W.H. Wong, J. Xhie. Appl. Phys. Lett. 67, 15, 2232 (1995)
  7. R.A. Rao, Q. Gan, C.B. Eom, Y. Suzuki, A.A. McDaniel, J.W.P. Hsu. Appl. Phys. Lett. 69, 25, 3911 (1996)
  8. C.S. Huang, T.Y. Tseng, B.C. Chung, C.H. Tsai, S.S. Hsu, I.N. Lin. J. Appl. Phys. 78, 12, 7181 (1995)
  9. А.К. Воробьев, Е.Б. Клюенков, В.В. Таланов, Э.Н. Ботин. Письма в ЖТФ 19, 15, 12 (1993)
  10. Технология тонких пленок (справочник) / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Нью-Йорк (1970); [Пер. с англ. / Под ред. М.И. Елинсона, Г.Г. Смолко. Сов радио, М. (1977). Т. 1. 664 с.]
  11. М.Н. Дроздов, В.М. Данильцев, Н.Н. Салащенко, Н.И. Полушкин, О.И. Хрыкин, В.И. Шашкин. Письма в ЖТФ 21, 18, 1 (1995)
  12. Распыление твердых тел ионной бомдардировкой / Под ред. В.А. Молчанова. Мир, М. (1986). В. 2. 484 с
  13. N. Abdersen, P. Sigmund, K. Dan. Vid. Selsk. Math. Fys. Medd. 39, 3, 1 (1974)
  14. H.W. Pickering. J. Vac. Sci. Technol. 13, 618 (1976)
  15. P.S. Ho, J.E. Lewis, H.S. Wildman, J.K. Howard. Surf. Sci. 57, 393 (1976)
  16. R. Kelly. Nucl. Instrum. Methods. 132, 335 (1976)
  17. M. Shikita, R. Shimizu. Surf. Sci. 97, L363 (1980)
  18. N.Q. Lam Surface and Interface Analysis 12, 65 (1988)
  19. Masaki Maeda, Mikio Kadoi, Takuro Ikeda. J. J. Appl. Phys. 28, 8, 1417 (1989)
  20. В.И. Симонов, В.Н. Молчанов, Р.А. Тамазян. В кн: Кристаллы. Рост, структура, свойства. Сб. научн. трудов. Наука, М. (1993). С. 56
  21. Atsushi Ando, Koichiro Saiki, Keiji Ueno, Atsushi Koma. J. J. Appl. Phys. 27, 3, L304 (1988)
  22. J.R. Gavaler, J. Talvacchio, R.W. Weinert. IEEE Trans. on Appl. Supercond. 5, 2, 1173 (1995)
  23. Ю.Н. Дроздов, С.А. Павлов, А.Е. Парафин. Письма в ЖТФ 24, 1, 55 (1998)
  24. T.I. Selinder, G. Larsson, U. Helmersson. Appl. Phys. Lett. 52, 22 (1987)
  25. A.M. Kadin, P.H. Ballentine, J. Argana, R.C. Rath. IEEE Trans. on Appl. Supercond. 25, 2, 2437 (1989)
  26. H. Morita, K. Watanabe, Y. Murakami, Y. Koyanagi, K. Noto, H. Fujimori, Y. Muto. J. J. Appl. Phys. 28, 4, L628 (1989)
  27. Yu.N. Drozdov, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, Yu.N. Nozdrin, V.V. Talanov, A.K. Vorobiev. IEEE Trans. on Appl. Supercond. 7, 2, 1642 (1997)
  28. M.N. Drozdov, S.V. Gaponov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, V.I. Luchin, D.V. Masterov, S.K. Saykov, A.K. Vorobiev. Presented at 98 Applied Superconductivity Conference. IEEE Trans. Appl. Supercond. in press
  29. А.К. Воробьев, С.В. Гапонов, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, В.И. Лучин, Д.В. Мастеров. Письма в ЖТФ 24, 24, 13 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.