Вышедшие номера
Определение модуля упругости эпитаксиальных слоев GaN методом микроиндентирования
Николаев В.И.1, Шпейзман В.В.1, Смирнов Б.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nikolaev.v@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 14 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Показана возможность определения модуля Юнга в эпитаксиальных слоях нитрида галлия путем микроиндентирования их ростовой поверхности. Методика основана на решении задачи Герца для упругого вдавливания стальной сферы в исследуемую поверхность. Установлено, что используемое при этом изотропное приближение оправдано и дает удовлетворительные результаты. Проведены также измерения микротвердости эпитаксиальных слоев.
  1. H.A. Amano, M. Kito, K. Hiramatsu, I. Akasaki. Jpn. J. Appl. Phys. 28, 12, L2112 (1989)
  2. S. Nakamura, M. Senoh, T. Mukai. Jpn. J. Appl. Phys. 32, part 2, 1A/B, L8 (1993)
  3. В.А. Иванцов, В.А. Суховеев, В.И. Николаев, И.П. Никитина, В.А. Дмитриев. ФТТ 39, 5, 858 (1997)
  4. E.S. Hellman, C.D. Brandle, L.F. Schneemeyer, D. Wiesmann, I. Broner, T. Siegrist, G.W. Berkstresser, D.N.E. Buchanan, E.H. Hartford. MRS Internet journal Nitride Semiconductor Research 1, 1 (1996) (http://nsr.mij.mrs.org/1/1)
  5. Yu.Melnik, A. Nikolaev, I. Nikitina, K. Vassilevski, V. Dmitriev. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 482, 269 (1998)
  6. V.A. Savastenko, A.U. Sheleg. Phys. Stat. Solid. A48, K135 (1978); А.У. Шелег, В.А. Савастенко. Изв. АН. Неорг. материалы 15, 9, 1257 (1979)
  7. A. Polian, M. Grimsditch, I. Grzegory. J. Appl. Phys. 79, 6, 3343 (1996)
  8. R.B. Schwarz, K. Khachaturyan, E.R. Weber. Appl. Phys. Lett. 70, 9, 1122 (1997)
  9. Y. Takagi, M. Ahart, T. Azuhata, T. Sota, K. Suzuki, S. Nakamura. Physica B219 \& 220, 547 (1996)
  10. K. Kim, R.L. Lambrecht, B. Segall. Phys. Rev. B50, 1502 (1994); Phys. Rev. B53, 16 310 (1996)
  11. A.F. Wright. J. Appl. Phys. 82, 6, 2833 (1997)
  12. В.Ф. Бердиков, А.В. Бабанин, Ю.А. Артемьева. Завод. лаб. 8, 1014 (1975)
  13. M. Leszczynski, T. Suski, H. Teisseyre, P. Perlin, I. Grzegory, J. Jun, S. Porowski, T.D. Moustakas. J. Appl. Phys. 76, 8, 4909 (1994)
  14. Дж. Най. Физические свойства кристаллов. ИЛ, М. (1960). 385 с
  15. Т.Д. Шермергор. Теория упругости микронеоднородных сред. Наука, М. (1977). 400 с
  16. R. Hill. Proc. Phys. Soc. A65, 389, 349 (1952)
  17. Физические свойства сталей и сплавов, применяемых в энергетике / Под ред. Б.Е. Неймарка. Энергия, М.--Л. (1967). 240 с
  18. В.С. Никишин, Г.С. Шапиро. Задачи теории упругости для многослойных сред. Наука, М. (1973). 131 с
  19. В.И. Николаев, В.В. Шпейзман, Б.И. Смирнов. Материалы Второго Всероссийского Совещания "Нитрид галлия, алюминия и индия. Структуры и приборы". Изд-во СПбГТУ, СПб (1998). С. 32

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.