Определение модуля упругости эпитаксиальных слоев GaN методом микроиндентирования
Николаев В.И.1, Шпейзман В.В.1, Смирнов Б.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: nikolaev.v@pop.ioffe.rssi.ru
Поступила в редакцию: 14 июля 1999 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.
Показана возможность определения модуля Юнга в эпитаксиальных слоях нитрида галлия путем микроиндентирования их ростовой поверхности. Методика основана на решении задачи Герца для упругого вдавливания стальной сферы в исследуемую поверхность. Установлено, что используемое при этом изотропное приближение оправдано и дает удовлетворительные результаты. Проведены также измерения микротвердости эпитаксиальных слоев.
- H.A. Amano, M. Kito, K. Hiramatsu, I. Akasaki. Jpn. J. Appl. Phys. 28, 12, L2112 (1989)
- S. Nakamura, M. Senoh, T. Mukai. Jpn. J. Appl. Phys. 32, part 2, 1A/B, L8 (1993)
- В.А. Иванцов, В.А. Суховеев, В.И. Николаев, И.П. Никитина, В.А. Дмитриев. ФТТ 39, 5, 858 (1997)
- E.S. Hellman, C.D. Brandle, L.F. Schneemeyer, D. Wiesmann, I. Broner, T. Siegrist, G.W. Berkstresser, D.N.E. Buchanan, E.H. Hartford. MRS Internet journal Nitride Semiconductor Research 1, 1 (1996) (http://nsr.mij.mrs.org/1/1)
- Yu.Melnik, A. Nikolaev, I. Nikitina, K. Vassilevski, V. Dmitriev. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 482, 269 (1998)
- V.A. Savastenko, A.U. Sheleg. Phys. Stat. Solid. A48, K135 (1978); А.У. Шелег, В.А. Савастенко. Изв. АН. Неорг. материалы 15, 9, 1257 (1979)
- A. Polian, M. Grimsditch, I. Grzegory. J. Appl. Phys. 79, 6, 3343 (1996)
- R.B. Schwarz, K. Khachaturyan, E.R. Weber. Appl. Phys. Lett. 70, 9, 1122 (1997)
- Y. Takagi, M. Ahart, T. Azuhata, T. Sota, K. Suzuki, S. Nakamura. Physica B219 \& 220, 547 (1996)
- K. Kim, R.L. Lambrecht, B. Segall. Phys. Rev. B50, 1502 (1994); Phys. Rev. B53, 16 310 (1996)
- A.F. Wright. J. Appl. Phys. 82, 6, 2833 (1997)
- В.Ф. Бердиков, А.В. Бабанин, Ю.А. Артемьева. Завод. лаб. 8, 1014 (1975)
- M. Leszczynski, T. Suski, H. Teisseyre, P. Perlin, I. Grzegory, J. Jun, S. Porowski, T.D. Moustakas. J. Appl. Phys. 76, 8, 4909 (1994)
- Дж. Най. Физические свойства кристаллов. ИЛ, М. (1960). 385 с
- Т.Д. Шермергор. Теория упругости микронеоднородных сред. Наука, М. (1977). 400 с
- R. Hill. Proc. Phys. Soc. A65, 389, 349 (1952)
- Физические свойства сталей и сплавов, применяемых в энергетике / Под ред. Б.Е. Неймарка. Энергия, М.--Л. (1967). 240 с
- В.С. Никишин, Г.С. Шапиро. Задачи теории упругости для многослойных сред. Наука, М. (1973). 131 с
- В.И. Николаев, В.В. Шпейзман, Б.И. Смирнов. Материалы Второго Всероссийского Совещания "Нитрид галлия, алюминия и индия. Структуры и приборы". Изд-во СПбГТУ, СПб (1998). С. 32
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.