Издателям
Вышедшие номера
Теория сканирующей емкостной микроскопии
Балагуров Д.Б.1, Ключник А.В.1, Лозовик Ю.Е.1
1Институт спектроскопии РАН, Троицк, Москва, Россия
Email: lozovik@isan.
Поступила в редакцию: 3 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 20 января 2000 г.

Рассматривается теория сканирующей емкостной микроскопии (СЕМ), применяющейся для исследования двумерного распределения неоднородностей в пленках, расположенных над металлическими подложками, а также рельефа проводящих поверхностей. Предложена реалистичная модель СЕМ, которая допускает аналитическое решение. Построено явное решение обратной задачи восстановления профиля неоднородностей в СЕМ. Подробно проанализированы эффекты, которые могли бы наблюдаться в связи с возбуждением собственных колебаний в системе пленка--игла зондового микроскопа. Данная работа была выполнена при поддержке РФФИ и программ "Поверхностные атомные структуры" и "Физика твердотельных наноструктур".
  1. Y. Martin, D.W. Abraham, H.K. Wickramasinghe. Appl. Phys. Lett. 52, 13, 1103 (1988)
  2. C.C. Williams, W.P. Hough, S.A. Rishton. Appl. Phys. Lett. 55, 2, 203 (1989)
  3. A.C. Diebold, M.R. Kump, J.J. Kopanski, D.G. Seiler. J. Vac. Sci. Techol. B14, 1, 196 (1996)
  4. G. Neubauer, A. Erickson, C.C. Williams, J.J. Kopanski, M. Rogers, D. Adderton. J. Vac. Sci. Techol. B14, 1, 426 (1996)
  5. A. Erickson, L. Sadwick, G. Neubauer, J.J. Kopanski, D. Adderton, M. Rogers. J. Electr. Mat. 25, 2, 301 (1996)
  6. R.C. Barrett, C.F. Quate. J. Appl. Phys. 70, 5, 2725 (1991)
  7. S.H. Tessmer, P.I. Glicofridis, R.C. Ashoori, L.S. Levitov, M.L. Melloch. Nature 392, 51 (1998)
  8. H. Drexler, D. Leonard, W. Hansen, J.P. Kotthaus, P.M. Petroff. Phys. Rev. Lett. 73, 16, 2252 (1994).
  9. G. Medeiros-Ribeiro, D. Leonard, P.M. Petroff. Appl. Phys. Lett. 66, 14, 1767 (1995)
  10. v S. Lanyi, J. Torok, P. v Rehuv rek. Rev. Sci. Instrum. 65, 7, 2258 (1994)
  11. K. Goto, K. Hane. Rev. Sci. Instrum. 68, 1, 120 (1997)
  12. В.А. Быков, В.В. Лосев, С.А. Саунин. Труды Всерос. совещ. "Зондовая микроскопия-99". Нижний Новгород (1999)
  13. S. Watanabe, K. Hane, T. Ohye, M. Ito, T. Goto. J. Vac. Sci. Technol. B11, 5, 1774 (1993)
  14. v S. Lanyi, J. Torok, P. v Rehuv rek. J. Vac. Technol. 14, 2, 892 (1996)
  15. K. Goto, K. Hane. J. Appl. Phys. 84, 8, 4043 (1998)
  16. Yu.E. Lozovik, A.V. Klyuchnik. The Dielectric Function of Condensed Systems / Ed. by L.V. Keldysh et al. Elsevier Science Publisher, B.V. (1987)
  17. В.А. Диткин, А.П. Прудников. Интегральные преобразования и операционное исчисление. Физматгиз (1961).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.