Вышедшие номера
Эффективность генерации рентгеновского Si L2,3 излучения электронным ударом в системе SiO2/Si
Шулаков А.С.1, Брайко А.П.1, Мороз Н.В.1, Фомичев В.А.1
1Институт физики Санкт-Петербургского государственного университета, Петродворец, Россия
Email: alex@ns1333.spb.edu
Поступила в редакцию: 23 марта 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Предпринята попытка исследования распределения по глубине эффективности возбуждения и выхода ультрамягкого рентгеновского L2,3 излучения кремния, возбуждаемого электронами различных энергий. Функция генерации, описывающая эффективность возбуждения, является ядром интегрального уравнения, определяющего зависимость интенсивности рентгеновского излучения от энергии первичных электронов. С целью определения вида этой функции исследована зависимость от энергии первичных электронов интенсивности Si L2,3 рентгеновского эмиссионного спектра и составляющих его L2,3 полос кремния в кристаллическом кремнии и в аморфном диоксиде SiO2 в системе образцов, представляющих собой слои диоксида разной толщины, выращенные на поверхности кристаллического кремния. Такая постановка эксперимента позволила исследовать сечения функции генерации на глубине, соответствующей глубине залегания интерфейса Si--SiO2. Для теоретического моделирования вида функции генерации использовались простейшие законы взаимодействия электронов с твердыми телами и наиболее общий вид сечения ионизации внутреннего уровня электронным ударом. Сопоставление экспериментально полученных относительных вкладов излучения Si и SiO2 с рассчитанными показало хорошее соответствие вплоть до энергии первичных электронов 2-3 keV.
  1. A.S. Shulakov. Cryst. Res. Technol. 23, 6, 835 (1988)
  2. А.С. Шулаков, А.П. Степанов, А.П. Брайко. ФТТ 35, 8, 2135 (1993)
  3. А.С. Шулаков, А.П. Брайко. ФТТ 39, 11, 2101 (1997)
  4. А.С. Виноградов, Е.О. Филатова, Т.М. Зимкина. ФТТ 25, 4, 1120 (1983)
  5. А.С. Шулаков, А.П. Степанов. Поверхность. Физика, химия, механика, 1, 146 (1988)
  6. И.Б. Боровский, В.И. Рыдник. Изв. АН СССР. Сер. физ. 31, 6, 1009 (1967)
  7. А.Ф. Махов. ФТТ 2, 7, 2161 (1960)
  8. G. Dupuoy, F. Perrier, G. Verdier, F. Annal. Comput. Rend., 258, 3655 (1964)
  9. G. Dupuoy, F. Perrier, G. Verdier, F. Annal. Comput. Rend., 260, 6055 (1965)
  10. И.М. Бронштейн, Б.С. Фрайман. Вторичная электронная эмиссия. Наука, М. (1969). 407 с
  11. M. Gryzinsky. Phys. Rev. A138, 2, 336 (1965)
  12. В.И. Нефедов. Рентгеноэлектронная спектроскопия химических соединений. Химия, М. (1984). 255 с
  13. A.S. Shulakov, A.V. Fedorov, G. Kaindl. 17th Int. Conf. X-Ray and Inner-Shell Processes. X-96. Hamburg (sept. 9--13, 1996). Abstracts. P. 80
  14. A.S. Shulakov, A. Szazs, H. Mueller, H. Kirshmar. Phys. Stat. Sol. (a) 133, 555 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.