Предпринята попытка исследования распределения по глубине эффективности возбуждения и выхода ультрамягкого рентгеновского L_2,3 излучения кремния, возбуждаемого электронами различных энергий. Функция генерации, описывающая эффективность возбуждения, является ядром интегрального уравнения, определяющего зависимость интенсивности рентгеновского излучения от энергии первичных электронов. С целью определения вида этой функции исследована зависимость от энергии первичных электронов интенсивности Si L_2,3 рентгеновского эмиссионного спектра и составляющих его L_2,3 полос кремния в кристаллическом кремнии и в аморфном диоксиде SiO₂ в системе образцов, представляющих собой слои диоксида разной толщины, выращенные на поверхности кристаллического кремния. Такая постановка эксперимента позволила исследовать сечения функции генерации на глубине, соответствующей глубине залегания интерфейса Si-SiO₂. Для теоретического моделирования вида функции генерации использовались простейшие законы взаимодействия электронов с твердыми телами и наиболее общий вид сечения ионизации внутреннего уровня электронным ударом. Сопоставление экспериментально полученных относительных вкладов излучения Si и SiO₂ с рассчитанными показало хорошее соответствие вплоть до энергии первичных электронов 2-3 keV.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.