Вышедшие номера
Спектр ЭПР доноров в 6H SiC в широком температурном интервале
Калабухова Е.Н.1, Лукин С.Н.1, Громовой Ю.С.1, Мохов Е.Н.2
1Институт физики полупроводников Академии наук Украины, Киев, Украина
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: katia@physic.kiev.ua
Поступила в редакцию: 16 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Исследование спектров ЭПР доноров в кристаллах 6H SiC, с концентрацией нескомпенсированных доноров (ND-NA) от 2· 1018 до 1· 1016 cm-3 в температурном интервале от 4.2 до 160 K на частотах 9 до 140 GHz показало, что образцам 6H SiC n-типа присущи два донорных состояния в запрещенной зоне: одно, связанное с азотом в трех неэквивалентных позициях решетки с энергиями ионизации 150 и 80 meV, и второе, связанное со структурным дефектом, имеющим более глубокий уровень залегания в запрещенной зоне, чем азот. Обнаружено отклонение хода температурных зависимостей интенсивностей линий ЭПР-спектров доноров от закона Кюри. Наблюдаемые пики интенсивностей линий спекторов ЭПР доноров связаны с последовательным перераспеределением донорных электронов между уровнями доноров при изменении температуры. Из температурных зависимостей интенсивностей линий спектров ЭПР для образцов с низкой концентрацией доноров определена величина долин-орбитального расщепления для азота в кубических позициях решетки.