Спектр ЭПР доноров в 6H SiC в широком температурном интервале
Калабухова Е.Н.1, Лукин С.Н.1, Громовой Ю.С.1, Мохов Е.Н.2
1Институт физики полупроводников Академии наук Украины, Киев, Украина
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: katia@physic.kiev.ua
Поступила в редакцию: 16 апреля 1998 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.
Исследование спектров ЭПР доноров в кристаллах 6H SiC, с концентрацией нескомпенсированных доноров (ND-NA) от 2· 1018 до 1· 1016 cm-3 в температурном интервале от 4.2 до 160 K на частотах 9 до 140 GHz показало, что образцам 6H SiC n-типа присущи два донорных состояния в запрещенной зоне: одно, связанное с азотом в трех неэквивалентных позициях решетки с энергиями ионизации 150 и 80 meV, и второе, связанное со структурным дефектом, имеющим более глубокий уровень залегания в запрещенной зоне, чем азот. Обнаружено отклонение хода температурных зависимостей интенсивностей линий ЭПР-спектров доноров от закона Кюри. Наблюдаемые пики интенсивностей линий спекторов ЭПР доноров связаны с последовательным перераспеределением донорных электронов между уровнями доноров при изменении температуры. Из температурных зависимостей интенсивностей линий спектров ЭПР для образцов с низкой концентрацией доноров определена величина долин-орбитального расщепления для азота в кубических позициях решетки.
- W.E. Carlos. Properties of Silicon Carbide / Ed. G.L. Harris. IEE, inspec. (1995). P. 42
- А.И. Вейнгер. ФТП 1, 1, 20 (1967)
- C. Kiselowski, K. Maier, J. Schneider, V. Oding. Mater. Sci. Forum 83--87, 1171 (1992)
- Е.Н. Калабухова, Н.Н. Кабдин, С.Н. Лукин, Е.Н. Мохов, Б.Д. Шанина. ФТТ 31, 3, 50 (1989)
- W. Suttrop, G. Pensl, W.J. Choyke, R. Stein, S. Leibenzeder. J. Appl. Phys. 72, 8, 3708 (1992)
- A.O. Evwaraye, S.R. Smith, W.C. Mitchel. J. Appl. Phys. 75, 7, 3472 (1994)
- P.J. Colwell, M.V. Klein. Phys. Rev. B6, 2, 498 (1972)
- E.N. Kalabukhova, V.S. Kiselev, S.N. Lukin. Inst. Phys. Conf. Ser. 142, 405 (1996)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, E.N. Mokhov, J. Reinke, S. Greulich-Weber, J.-M. Spaeth. Inst. Phys. Conf. Ser. 142, 333 (1996)
- E.N. Kalabukhova, S.N. Lukin, B.D. Shanina, Yu.A. Vodakov, A.A. Lepneva, E.N. Mokhov. Springer Proc. Phys. 71, 149 (1992)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.