Вышедшие номера
Измерение дифференциального и интегрального распределений диффузного рассеяния рентгеновских лучей от дефектов в тонких деформированных слоях
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 25 декабря 1996 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.

Методы двух- и трехкристального дифрактометров были использованы для исследования структурного совершенства эпитаксиальной системы Ga1-xInxSb1-yAsy--GaSb (x=0.9, y=0.8) с толщиной пленки около 1 mum. Показано, что рассеяние от образцов этой системы может быть разделено на когерентное и диффузное. Расположение узлов обратной решетки пленки и подложки на двумерном распределении интенсивности для асимметричных отражений показывает отсутствие релаксации упругих напряжений. Сетки дислокаций не образуется, а диффузное рассеяние обусловлено дефектами кулоновского типа. Из локализации диффузной интенсивности в обратном пространстве следует, что эти дефекты находятся в эпитаксиальной пленке. Для асимметричных отражений выявлен аномальный характер распределения диффузного рассеяния, вытянутого в направлении, параллельном поверхности, и расщепленного на два максимума. Предложены и реализованы схемы измерения интегрального распределения интенсивности дифракции вдоль поверхности и по нормали к ней и показаны ее возможности для изучения диффузного рассеяния от дефектов.
  1. Р.Н. Кютт, Т.С. Аргунова. ФТТ 31, 1, 40 (1989)
  2. P.F. Fewster. J. Appl. Cryst. 24, 2, 178 (1991)
  3. V. Holy, J. Kubena, E. Abramov, K. Lischka, A. Pezek, E. Koppensteiner. J. Appl. Phys. 74, 3, 1736 (1993)
  4. P.F. Fewster, N.L. Andrew. J. Appl. Phys. 74, 3121 (1993)
  5. R.N. Kyutt, S.S. Ruvimov, T.S. Argunova. J. Appl. Cryst. 28, 6, 700 (1995)
  6. P.H. Dederichs. J. Phys. F: Metal Phys. 3, 3, 471 (1973)
  7. B.C. Larsson. J. Appl. Cryst. 8, 150 (1975)
  8. P. Zaumseil, U. Winter, F. Cembali, M. Servidori, Z. Sourek. Phys. Stat. Sol. (a) 100, 1, 95 (1987)
  9. P. Zaumseil, U. Winter. Phys. Stat. Sol. (a) 120, 1, 67 (1980)
  10. P. Kidd, P.F. Fewster, N.L. Andrew. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, 133 (1995)
  11. M.S. Gorski, M. Meshkinpous, D.C. Streit, T.R. Block. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, A92 (1995)
  12. А.Ю. Белов, В.М. Каганер. Металлофизика 9, 4, 79 (1987)
  13. Т.С. Аргунова, А.Н. Баранов, С.С. Рувимов, Л.М. Сорокин. ФТТ 31, 8, 158 (1989)
  14. Р.Н. Кютт, Л.М. Сорокин, Т.С. Аргунова, С.С. Рувимов. ФТТ 36, 2700 (1994)
  15. A. Iida, K. Kohra. Phys. Stat. Sol. (a) 51, 2, 533 (1979)
  16. М.А. Кривоглаз. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами. Наука, М. (1967)
  17. L. Tapfer, P. Sciacovelly, L. DeCaro. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, 179 (1995)
  18. A.A. Darhuber, E. Koppensteiner, G. Bauer, P.D. Wang, C.M.S. Torres, M.C. Holland. J. Phys. D: Appl. Phys. 28, 4A, 195 (1995)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.