Вышедшие номера
Электронная структура и эффективные массы электронов и дырок в alpha- и beta-фазах нитрида кремния
Шапошников А.В.1, Петров И.П.1, Гриценко В.А.1, Kim C.W.2
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2R&D Center Samsung Electronics Co., Ltd, Process Development/Semiconductor San #24, Nongseo-Ri, Kiheung-Eup, Yongin-City, Kyunggi-Do, Korea
Email: grits@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 13 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2007 г.

Из первых принципов рассчитана электронная зонная структура двух основных кристаллических модификаций нитрида кремния alpha-Si3N4 и beta-Si3N4. Полученные оценки для эффективных зарядов атомов Si и N и эффективных масс электронов и дырок в alpha-Si3N4 хорошо согласуются с экспериментальными данными для аморфного нитрида. Расчеты предсказывают существенное отличие тензора эффективных масс для beta-Si3N4 по сравнению с alpha-Si3N4. Работа поддержана проектом РФФИ N 06-02-16621, Интеграционным проектом N 97 Сибирского отделения Российской академии наук и Корейским министерством науки и технологии по программе терабитных приборов. PACS: 77.22.Jp, 77.55.+f, 77.84.Bw
  1. В.А. Гриценко. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП-структурах. Наука, Новосибирск (2003). 280 с
  2. V.A. Gritsenko. In: Silicon nitride in electronics / Ed. A.V. Rhzanov. Elsevier, N.Y. (1986). 286 p
  3. V.A. Gritsenko, K.A. Nasyrov, Yu.N. Novikov, A.L. Aseev, S.Y. Yoon, J.-W. Lee, E.-H. Lee, C.W. Kim. Solid State Electron. 47, 1651 (2003)
  4. V.A. Gritsenko, E.E. Meerson, Yu.N. Morokov. Phys. Rev. B 57, 2081 (1997)
  5. К.А. Насыров, Ю.Н. Новиков, В.А. Гриценко, С.Ю. Юн, Ч.В. Ким. Письма в ЖЭТФ 77, 455 (2003)
  6. K.A. Nasyrov, V.A. Gritsenko, Yu.N. Novikov, E.-H. Lee, S.Y. Yoon, C.W. Kim. J. Appl. Phys. 96, 4293 (2004)
  7. В.А. Гриценко, С.С. Шаймеев, К.А. Насыров. ЖЭТФ 129, 926 (2006)
  8. ICSD database 2003 Collection; http://icsd.ill.fr/icsd/index.html, Entry \#92156
  9. ICSD database 2003 Collection; http://icsd.ill.fr/icsd/index.html, Entry \#79798
  10. S.-Y. Ren, W.Y. Ching. Phys. Rev. B 23, 5454 (1981)
  11. Yong-Nian Xu, W.Y. Ching. Phys. Rev. B 51, 24 (1995)
  12. S. Baroni, A. Dal Corso, S. de Gironcoli, P. Giannozzi, C. Cavazzoni, G. Ballabio, S. Scandolo, G. Chiarotti, P. Focher, A. Pasquarello, K. Laasonen, A. Trave, R. Car, N. Marzari, A. Kokalj. http://www.pwscf.org/
  13. V.A. Gritsenko, Yu.N. Morokov, Yu.N. Novikov. Appl. Surf. Sci. 113/114, 417 (1997)
  14. В.А. Гриценко, Ю.Н. Новиков, А.В. Шапошников, Ю.Н. Мороков. ФТП 35, 1041 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.