Влияние примесей и собственных дефектов на физико-механические свойства монокристаллов карбида кремния
Гаршин А.П., Лавренова Е.А., Водаков Ю.А., Мохов Е.Н.
Выставление онлайн: 20 августа 1992 г.
Методом микровдавливания алмазной пирамиды Виккерса исследованы механические свойства монокристаллов карбида кремния с различным содержанием примесей (азота и алюминия) и собственных дефектов, введенных при облучении или росте в нестехиометрических условиях. Найдено, что в кристаллах SiC, имеющих нестехиометрические и радиационные дефекты, а также в образцах с высоким уровнем легирования азотом (CN ~= 1020 см-3) наблюдается повышенная склонность к трещинообразованию, приводящая к ухудшению микропрочностных характеристик материала. Анализ полученных данных позволяет сделать вывод, что за эти изменения в первую очередь ответственны кластеры собственных дефектов, а не дислокации.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.