Николаев И.Н.1, Калинина Л.Н.1, Литвинов А.В.1
1Московский инженерно-физический институт, Москва, Россия
Email: Nikolaev@mephi.ru
Выставление онлайн: 20 мая 2009 г.
В результате анализа механизма чувствительности сенсоров металл-диэлектрик-полупроводник к концентрациям различных газов, а также ряда проведенных экспериментов сделан вывод о том, что в тонких диэлектрических слоях, допированных атомами каталитических металлов, образуются электрически заряженные центры захвата (ловушки) для молекул с дипольными электрическими моментами. Предполагается, что ловушки представляют собой нанокластеры, состоящие из атомов диэлектрика и атомов каталитического металла. Возможно, что этот тип центров захвата проявляется и в других физических явлениях. PACS: 61.46.Df, 37.10.Ty
- I. Lundstrom, M.S. Shivaraman, C. Svenson, L. Lundlvist. Appl. Phys. Lett. 26, 55 (1975)
- И.Н. Николаев, А.В. Литвинов, Е.В. Емелин. Датчики и системы 7, 66 (2006)
- Е.В. Жованник, В.С. Куликаускас, И.Н. Николаев. Физика и химия обраб. материалов 6, 42 (1998)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов. Мир, М. (1984). 377 с
- И.Н. Николаев, Е.В. Емелин, А.В. Литвинов. Сенсор 3, 37 (2004)
- А.В. Литвинов, И.Н. Николаев. Измер. техника 2, 62 (2006)
- N. Yamazoe. Sens. Actuators B 5, 7 (1991)
- А.Н. Шатохин, Ф.Н. Путилин, А.С. Рыжиков, М.Н. Румянцева, А.М. Гаськов. Сенсор 3--4, 38 (2003)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
