Структура и ультрафиолетовая фотолюминесценция пленок 3C-SiC, выращенных на Si(111)
	
	
	
Орлов Л.К.1, Дроздов Ю.Н.1, Алябина Н.А.2, Ивина Н.Л.1, Вдовин В.И.3, Дмитрук И.Н.4
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия 
 2
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия 
 3
3Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
4Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина 

 Email: orlov@ipm.sci-nnov.ru
 
	Поступила в редакцию: 21 мая 2008 г.
		
	Выставление онлайн: 17 февраля 2009 г.
		
		
Обсуждаются структура и светоизлучающие свойства нанокристалличеких пленок кубического карбида кремния, полученных методом химической конверсии из паров гексана. Проведен детальный анализ морфологии, состава и кристаллографической структуры выращенных толстых пленок карбида кремния с применением методов рентгеноструктурного анализа, электронографии, интерференционной оптической, сканирующей зондовой и просвечивающей электронной микроскопии. Использование для возбуждения третьей гармоники фемтосекундного лазера (lambdaexit=266 nm) наряду с традиционно наблюдаемыми линиями в спектре высокотемпературной фотолюминесценции позволило впервые выявить линию излучения, лежащую в области глубокого ультрафиолета, с длиной волны (lambda=340 nm). Обсуждается природа линий, наблюдаемых в спектре фотолюминесценции. Работа выполнена по проектам РФФИ N 08-02-97017-р и 08-02-00065-а. PACS: 78.66.-w, 68.55.Jk, 68.55.-a, 61.10.-i
- S. Binetti, M. Donghi, S. Pizzini, A. Castaldini, A. Cavallini, B. Fraboni, N.A. Sobolev. Solid State Phenomena 57- 58, 197 (1997)
- Л.К. Орлов, С.В. Ивин, Д.В. Шенгуров, Э.А. Штейнман. Письма в ЖТФ 25, 10, 31 (1999)
- L.K. Orlov, A.V. Potapov, N.L. Ivina, E.A. Steinman, V.I. Vdovin. Solid State Phenomena 69- 70, 377 (1999)
- A.T. Blumenau, R. Jones, S. Oberg, P.R. Briddon, T. Frauenheim. Phys. Rev. Lett. 87, 187 404 (2001)
- W. Theiss. Surf. Sci. Rep. 29, 3--4, 91 (1997)
- O.G. Schmidt, K. Eberl. Phys. Rev. B 61, 13 721 (2000)
- А.М. Данишевский, В.Б. Шуман, Е.Г. Гук, А.Ю. Рогачев. ФТП 31, 420 (1997)
- T.L. Rittenhouse, P.W. Bohn, T.K. Hossain, I. Adesida, J. Lindesay, A. Marcus. J. Appl. Phys. 95, 490 (2004)
- J.Y. Fan, X.L. Wu, F. Kong, T. Qiu, G.S. Huang. Appl. Phys. Lett. 86, 171 903 (2005)
- A. Haddad-Adel, T. Inokuma, Y. Kurata, S. Hasegawa. Appl. Phys. Lett. 89, 181 904 (2006)
- J. Yang, X. Wang, G. Zhai, N. Cue, X. Wang. J. Cryst. Growth 224, 83 (2001)
- L. Zhang, W. Yang, H. Jin, Z. Zheng, Z. Xie, H. Miao, L. An. Appl. Phys. Lett. 89, 143 101 (2006)
- X.L. Wu, J.Y. Fan, T. Qiu, X. Yang, G.G. Siu, P.K. Chu. Phys. Rev. Lett. 94, 026 102 (2005)
- Л.К. Орлов, Ю.Н. Дроздов, В.Б. Шевцов, В.А. Боженкин, В.И. Вдовин. ФТТ 49, 596 (2007)
- R.T. Blunt. Proc. CS MANTECH Conf. Vancouver, Canada (2006). P. 59
- L.A. Hemstreet, jr., C.Y. Fong. Phys. Rev. B 6, 1464 (1972)
- G. Siu, X. Wu, Y. Gu, X. Bao. Appl. Phys. Lett. 74, 1812 (1999)
- В.В. Соболев, А.Н. Шестаков. ФТП 34, 447 (2000)
- G. Theodorou, G. Tsegas, E. Kaxiras. J. Appl. Phys. 85, 2179 (1999). 
		
			Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
		
		
			Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.