Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Молекулярная эпитаксия пленок Ge_xSi_1-x на Si (111): исследование методом дифракции быстрых электронов

Марков В.А.¹, Пчеляков О.П.¹

¹Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Rzhanov Institute of Semiconductor Physics, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Поступила в редакцию: 20 февраля 1996 г.

Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.

PDF версия

Начальные стадии эпитаксии пленок твердого раствора Ge_xSi_1-x на поверхности Si(111) экспериментально исследованы в интервале температур подложки 400-900^oC и состава пленок x=0.3-1.0 путем анализа осцилляций интенсивности зеркального рефлекса при дифракции быстрых электронов. Во время роста пленок наблюдалось исчезновение осцилляций и падение интенсивности, связанное с достижением критической толщины пленки в момент перехода от двумерно-слоевого роста к трехмерному по механизму Странского-Крастанова. Определена зависимость критической толщины пленок разного состава от температуры и найдены условия прекращения осцилляций. Показана роль поверхностной диффузии в процессе релаксации механических напряжений в пленке, приводящем к самоорганизации квазиупорядоченной системы трехмерных островков.

A.I. Yakimov, V.A. Markov, A.V. Dvurechenskii, O.P. Pchelyakov. Phil. Mag. B65, \it 4, 701 (1992)
A.I. Yakimov, V.A. Markov, A.V. Dvurechenskii, O.P. Pchelyakov. J. Phys.: Cond. Matter 6, 2573 (1994)
R. People, J.C. Bean. Appl. Phys. Lett. 47, \it 3, 322 (1985)
J.C. Bean, L.C. Feldman, A. Fiory, S. Nakahara, K. Robinson. J. Vac. Sci. Technol. A2, \it 2, 436 (1984)
Y. Kohama, Y. Fukuda, M. Seki. Appl. Phys. Lett. 52, \it 5, 380 (1988)
D.C. Houghton, C.J. Gibbings, C.G. Tuppen, M.H. Lyons, M.G. Halliwell. Thin Solid Films 183, 171 (1989)
B.A. Joyce, J.H. Neave, J. Zhang, D.D. Vvedensky, S. Clarke, K.J. Hugill, T. Shitara, A.K. Myers-Beaghton. Semicond. Sci. Technol. 5, 1147 (1990)
K. Miki, K. Sakamoto, T. Sakamoto. Mat. Res. Soc. Proc. 148, 323 (1989)
S.M. Pintus, S.I. Stenin, A.I. Toropov, E.M. Trukhanov, V.Yu. Karasev. Thin Solid Films 151, \it 2, 275 (1987)
A.B. Архипенко, Ю.А. Блюмкина, М.А. Ламин, О.П. Пчеляков, Л.В. Соколов, С.И. Стенин, Н.И. Козлов, А.А. Крошков, А.В. Ржанов. Поверхность. Физика, химия, механика, \it 5, 93 (1985)
A.V. Latyshev, A.L. Aseev, A.B. Krasilnikov, S.I. Stenin. Surf. Sci. 213, 157 (1989)
P.R. Pukite, J.M. van Hove, P.I. Cohen. Appl. Phys. Lett. 44, 456 (1984)
П. Хирш, А. Хови, Р. Николсон, П. Пэшли, М. Уэлан. Электронная микроскопия тонких кристаллов. Мир. М. (1968). 389 с
J.M. Matthews, D.C. Jackson, A. Chambers. Thin Solid Films 26, 129 (1975)
A.V. Latyshev, A.L. Aseev, A.B. Krasilnikov, S.I. Stenin. Phys. Stat. Sol. (a) 113, 421 (1989)
S.Stoyanov. Surf. Sci. 199, 226 (1988)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель