Поляризационные процессы в анодных оксидах тантала
Косюк Л.М.1, Одынец Л.Л.1
1Петрозаводский государственный университет,, Петрозаводск, Россия
Поступила в редакцию: 21 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.
Изучаются частотные зависимости диэлектрической проницаемости и tgdelta планарной структуры Ta-Ta2-O5-Au, в которой оксидная пленка получена анодным окислением тантала. Были исследованы образцы, на которых путем подбора режима анодирования анодная пленка не содержит локальных кристаллических включений (ее надлежит рассматривать как квазиоднородную) либо содержит такие включения (ее следует считать макронеоднородной). Показано, что в обоих случаях основной вклад в величину диэлектрической проницаемости вносит поляризация электронного и ионного смещений. Кроме того, наблюдается релаксационная поляризация, определяемая электронным перескоковым механизмом. В макронеоднородных пленках помимо этих механизмов наблюдается миграционная поляризация типа Максвелла-Вагнера.
- Emmeneger F.P., Robinson M.Z.A. J. Phys. Chem. Sol. V. \bf29, \it9, 1673 (1968)
- Бовтун В.П., Цикалов В.Г., Поплавко Ю.М. Диэлектрики и полупроводники. Киев (1982). B. 21. С. 3--10
- Юнг Л. Анодные оксидные пленки. Л. (1967). 232 с
- Barker A.S. J. Phys. Rev. 132, 4, 1474 (1963)
- Argall F., Jonsher A.K. Thin Solid Films \bf2, \it3, 185 (1968)
- Gervasi C.A., Vilche J.R. Elektrochim. Acta. \bf37, \it5, 1383 (1992)
- Одынец Л.Л. Электрохимия 19, 4, 473 (1983)
- Звягин И.П. Вестн. МГУ. Сер. 3, Физика, астрономия \bf19, \it3, 82 (1978)
- Bottger H., Bryksin V.V. Phys. Stat. Sol. (b) (\bf113), \it1, 9 (1982)
- Брыксин В.В., Дьяконов М.Н., Муждаба В.М., Ханин С.Д. ФТТ \bf23, \it5, 1516 (1981)
- Некрасов М.М. Неоднородные диэлектрики. Киев. (1964). Ч. 1. 114 с
- Fonash S.J. Phys. Nonmetallic Thin Films \bf14, \it1, 225 (1976)
- Simmons J.G., Nadcarni G. Phys. Rev. \bf B 6, \it11, 4815 (1972)
- Савинова Н.А. ФТТ 21, 10, 2889 (1979)
- Одынец Л.Л., Прохорова Л.А., Чекмасова С.С. Электрохимия \bf10, \it8, 1225 (1974)
- Bispinck H., Janshow O., Wiedeman L., Benninhoven A. J. Appl. Phys. \bf18, \it11, 113 (1979)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук