Кукушкин С.А.1, Осипов А.В.1
1Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 21 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1995 г.
Исследован процесс образования новой фазы на подложках с учетом химической реакции между компонентами адсорбата. Показано, что при определенном соотношении коэффициентов диффузии компонентов и скорости осаждения частиц однородного распределение адатомов по подложке теряет устойчивость. При этом может возникнуть явление самоорганизации, приводящее к периодической зависимости от координат концентрации зародышей новой фазы. Таким образом, при нелинейном взаимодействии компонент растущая многокомпонентная пленка может быть существенно неоднородной даже при однородном потоке частиц, осаждаемых на подложку. Данное явление может наблюдаться при получении пленок методами, использующими газотранспортные химические реакции, в частности MOCVD-методом.
- Eckertova L. Physics of thin films. N.Y. (1986). 340 p
- Кукушкин С.А., Осипов А.В. ФТТ 36, 5, 1258 (1994)
- Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. М. (1979). 512 с
- Osipov A.V. Thin Solid Films 227, 119 (1993)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.