Вышедшие номера
Исследование бестигельного кремния, полученного при большой скорости роста, методом электронной микроскопии высокого разрешения
Сорокин Л.М.1, Пономарева Н.Б.1, Гусева Н.Б.1, Щеглов М.П.1, Хатчисон Дж.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 марта 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1994 г.

Методом электронной микроскопии высокого разрешения, рентгеновской топографии, рентгеновской дифракции и оптической дифракции исследована структура монокристаллов кремния бестигельной зонной плавки (БЗП), полученного при скоростях роста 9-10 mm/min. Обнаружены кристаллические наноразмерные частицы, идентифицированные как фаза gamma-Cu5Si со структурой beta-Mn. Показано, что микродефекты, возникающие в кремнии БЗП, могут быть как кристаллическими, так и аморфными. Выявлены дискообразные неоднородности микроструктуры, являющиеся результатом особенностей кристаллизации (захват фронтом микрокапель расплава) при высоких скоростях роста. Эти неоднородности являются источником локальных разориентаций типа кручения.