Вышедшие номера
Home » Физика твердого тела » Год 2011, выпуск 7 » Статья стр. 1389
<<<>>>
Об управлении структурой и напряженным состоянием тонких пленок и покрытий в процессе их получения ионно-плазменными методами
Соболь О.В.1
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Email: sool@kpi.kharkov.ua
Поступила в редакцию: 1 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2011 г.
PDF версия
Проведен системный анализ влияния температуры подложки при осаждении на два основных фактора неравновесности состояния материала ионно-плазменных пленок и покрытий: наноразмерность структурных образований и высокие напряжения. Показано, что повышение температуры при осаждении приводит к преимущественному росту нанокристаллитов в направлении падения пленкообразующих частиц, что ведет к формированию анизомерной кристаллической структуры. Основными причинами возникновения высоких упругих напряжений в ионно-плазменных конденсатах являются ионно-атомная бомбардировка в процессе осаждения (приводит к развитию напряжений сжатия) и различие коэффициентов термического расширения материалов конденсата и подложки (термические напряжения; знак определяется разностью коэффициентов термического расширения материалов конденсата и подложки). Увеличение температуры при осаждении приводит к релаксации сжимающих напряжений, стимулированных ионно-атомной бомбардировкой, и к повышению влияния термических напряжений на состояние ионно-плазменного конденсата. Это позволяет управлять напряженным состоянием ионно-плазменных пленок и покрытий путем изменения температуры подложки при осаждении. Работа выполнена в соответствии с планом МОН Украины (тема М2017).
  1. Nanocomposite thin films and coatings: processing, properties and performance / Eds S. Zhang, A. Nasar. Imperial College Press, London (2007). 617 p
  2. Nanostructured materials: processing, properties and applications / Ed. C.C. Koch. William Andrews Publ., N.Y. (2002). 546 p
  3. А.П. Шпак, П.Г. Черемской, Ю.А. Куницкий, О.В. Соболь. Кластерные и наноструктурные материалы. Академпериодика, Киев (2005). Т. 3. 516 с
  4. В.С. Иванова. Синергетика. Прочность и разрушение металлических материалов. Наука, М. (1992). 160 с
  5. В.С. Иванова, А.С. Буланкина, И.Ж. Бунин, А.А. Оксагоев. Синергетика и фракталы в материаловедении. Наука, М. (1994). 383 с
  6. А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий, П.Г. Черемской. Самоорганизация в низкоразмерных системах. ИМФ НАНУ, Киев (2005). 128 с
  7. О.В. Соболь, Г.Я. Дульфан. Теория фракталов (бесконечное приближение). НТУ "ХПИ", Харьков (2006). 206 с
  8. O.V. Sobol, O.N. Grigorjev, Yu.A. Kunitsky, S.N. Dub, A.A. Podtelezhnikov, A.N. Stetsenko. Sci. Sintering 38, 63 (2006)
  9. О.В. Соболь. ФТТ 49, 6, 1104 (2007)
  10. O.V. Sobol'. Functional Mater. 14, 3, 392 (2007)
  11. O.V. Sobol'. Functional Mater. 14, 4, 436 (2007)
  12. О.В. Соболь. В сб.: Наноструктурные материалы. Харьков. нанотехнол. ассамблея, Харьков (2008). Т. 1. С. 34
  13. О.В. Соболь. Физ. инженерия поверхности 6, 1--2, 20 (2008)
  14. А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий, М.Ю. Барабаш. Порошковая металлургия 1/2, 72 (2008)
  15. А.П. Шпак, О.В. Соболь, В.А. Татаренко, Ю.А. Куницкий, М.Ю. Барабаш, Д.С. Леонов, В.А. Дементьев. Металлофизика и новейш. технологии 30, 4, 525 (2008)
  16. О.В. Соболь. Физ. инженерия поверхности 6, 3--4, 134 (2008)
  17. А.И. Гусев, А.А. Ремпель. Нанокристаллические материалы. Физматлит, М. (2001). 224 с
  18. А.П. Шпак, А.И. Наконечная, Ю.А. Куницкий, О.В. Соболь. Механические свойства покрытий на основе титана. ИМФ НАНУ, Киев (2005). 84 с
  19. Ю.И. Головин. ФТТ 50, 2113 (2008)
  20. Р.А. Андриевский, А.М. Глезер. ФММ 89, 1, 91 (2000)
  21. А.П. Шпак, О.В. Соболь, Ю.А. Куницкий. УФМ 9, 3, 357 (2008)
  22. О.В. Соболь, С.Н. Дуб, О.Н. Григорьев, А.Н. Стеценко, А.А. Подтележников. Сверхтвердые материалы 35, 5, 38 (2005)
  23. В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, В.В. Мамон, С.Д. Лавриненко, Е.В. Фурсова. ВАНТ. Сер. Вакуум, чистые металлы, сверхпроводники, 18, 6, 158 (2009)
  24. В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, П.В. Турбин, С.В. Литовченко. ЖТФ 80, 6, 117 (2010)
  25. Springer handbook of nanotechnoligy / Ed. B. Bhushan. Springer-Verlag, Berlin (2007). 1916 p
  26. М.В. Решетняк, О.В. Соболь. Физ. инженерия поверхности 6, 3--4, 180 (2008)
  27. Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок. Наука, М. (1972). 320 с
  28. А.П. Шпак, О.В. Соболь, П.Г. Черемской, Ю.А. Куницкий, А.Н. Стеценко. Наносистеми. Наноматерiали. Нанотехнологii 4, 2, 373 (2006)
  29. О.В. Соболь. Наносистеми. Наноматерiали. Нанотехнлогii 4, 3, 707 (2006)
  30. О.В. Соболь. В сб.: Вакуумные нанотехнологии и оборудование. Харьков. нанотехнол. ассамблея. Харьков (2006). Т. 1. С. 260
  31. J.A. Tornton. Ann. Rev. Mater. Sci. 7, 239 (1977)
  32. J.A. Tornton, D.W. Hoffman. J. Vac. Sci. Technol. 14, 164 (1997)
  33. G. Keller, I. Barzen, W. Dotter. Mater. Sci. Eng. A 139, 137 (1991)
  34. А.А. Козьма, О.В. Соболь, Е.А. Соболь. Вiсн. Харкiв. держав. ун-ту. Сер. Фiзика 440, 3, 149 (1999)
  35. D.W. Hoffman. J. Vac. Sci. Technol. A 12, 4, 953 (1994)
  36. T.J. Vink, W. Walrave, J.L.C. Daams, A.G. Dirks. J. Appl. Phys. 74, 2, 988 (1993)
  37. Y.G. Shen, Y.W. Mai, Q.C. Zhang, D.R. McKenzie, W.D. McFall, W.E. McBride. J. Appl. Phys. 87, 1, 177 (2000)
  38. P.H. Mayrhofer, C. Mitterer, L. Hultman, H. Clemens. Prog. Mater. Sci. 51, 1032 (2006)
  39. F.M. d'Heurle, J.M. Harper. Thin Solid Films 171, 81 (1989)
  40. О.В. Соболь. ФММ 91, 1, 63 (2001)
  41. M. Itoh, M. Hori, S. Nadahara. J. Vac. Sci. Technol. B 9, 1, 149 (1991)
  42. Физические величины. Справочник / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. Энергоатомиздат, М. (1991). 1232 с
  43. O.V. Sobol', E.A. Sobol', A.A. Podtelezhnikov. Functional Mater. 6, 5, 868 (1999)
  44. O.V. Sobol, E.A. Sobol, L.I. Gladkikh, A.N. Gladkikh. Functional Mater. 9, 3, 486 (2002)
  45. O.V. Sobol', E.A. Sobol', A.A. Podtelezhnikov, S.T. Roshchenko. Functional Mater. 7, 2, 305 (2000)
  46. L. Bardos, H. Barankova, L.-E. Gustavsson, D.G. Teer. Surf. Coat. Tech. 177--178, 651 (2004)
  47. A.A. Koz'ma, O.V. Sobol', E.A. Sobol', S.S. Borisova, A.A. Podtelezhnikov. Functional Mater. 6, 2, 267 (1999)
  48. J.A. Floro, E. Chason, R.C. Cammarata, D.J. Srolovitz. MRS Bull. 2, 19 (2002)
  49. R.W. Hoffman. Thin Solid Films 34, 185 (1976)
  50. W.D. Nix, B.M. Clemens. J. Mater. Res. 14, 3467 (1999)
  51. L.B. Freund, E. Chason. J. Appl. Phys. 89, 4866 (2001)
  52. C.V. Thompson. J. Mater. Res. 8, 237 (1993)
  53. J. Musil, J. Suna. Mater. Sci. Forum 502, 291 (2005)
  54. О.В. Соболь. В сб.: Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов. Харьков (2005). Т. 2. С. 209.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme