Физика твердого тела

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Дифракция рентгеновского излучения на однородно изогнутом кристалле в геометрии на отражение

Смирнова И.А.¹, Суворов Э.В.¹, Шулаков Е.В.²

¹Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия Institute of Solid State Physics, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Institute of Solid State Physics, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

²Институт проблем технологии микроэлектроники РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия

Email: irina@issp.ac.ru

Поступила в редакцию: 29 апреля 2010 г.

Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

PDF версия

Исследованы особенности распределения интенсивности на выходной поверхности однородно изогнутого кристалла в геометрии на отражение. Эксперименты проводились на тонкослойных гетероструктурах Si_(1-x)Ge_x/Si. Для гетеросистем внутренние напряжения, возникающие в пленке и подложке, приводят к упругому изгибу всей системы. На секционных топограммах наблюдаются интерференционные деформационные полосы. Важно, что контраст этой интерференционной картины почти на порядок превосходит случай брэгговского рассеяния в идеальном кристалле. Наблюдаемая интерференционная картина зависит от радиуса изгиба кристалла. При увеличении радиуса все максимумы смещаются в сторону основного брэгговского пика. Соответственно уменьшаются все расстояния между полосами. Показано, что положение максимумов интенсивности не зависит от знака изгиба кристалла. При отрицательном знаке радиуса изгиба кристалла (положительный градиент деформации) наблюдается увеличение интегральной интенсивности. Результаты численного моделирования дифракционных изображений хорошо согласуются с экспериментальными топограммами. Сопоставление численного моделирования интерференционной картины и экспериментальных топограмм позволяет точно определить радиус изгиба кристалла (4%). По результатам моделирования эксперимента получены формулы, описывающие положение интерференционных максимумов в зависимости от радиуса изгиба образца. Работа выполнена при финансовой поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант N 09-02-00731-а).

A. Authier. Dynamical theory of X-ray diffraction. Science Publ., Oxford (2001). 724 p
N. Kato, A.R. Lang. Acta Cryst. 12, 4, 787 (1959)
M. Hart, A.D. Milne. Acta Cryst. A 25, 134 (1969)
S. Tanemura, N. Kato. Acta Cryst. A 28, 69 (1972)
V.V. Aristov, I.M. Shmytko, E.V. Shulakov. Acta Cryst. A 33, 412 (1977)
T. Uragami. J. Phys. Soc. Jpn. 31, 4, 1141 (1971)
A.M. Afanas'ev, V.G. Kohn. Acta Cryst. A 27, 421 (1971)
И.Л. Шульпина, П.В. Петрашень, Ф.Н. Чуховский, К.Т. Габриэлян. Тез. докл. IV Всесоюз. совещ. "Дефекты структуры в полупроводниках". Изд-во СО АН СССР, Новосибирск (1984). Ч. 2. С. 114
П.В. Петрашень, Ф.Н. Чуховский, И.Л. Шульпина, Р.Н. Кютт. ФТТ 29, 5, 1608 (1987)
F.N. Chukhovskii, P.V. Petrashen. Acta Cryst. A 44, 8 (1988)
T. Saka, T. Katagawa, N. Kato. Acta Cryst. A 28, 102 (1972)
Е.В. Шулаков, И.А. Смирнова. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 1, 96 (2001)
Е.В. Шулаков, И.А. Смирнова, Э.В. Суворов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 6, 5 (2003)
F.N. Chukhovskii, K.T. Gabrielan, P.V. Petrashen. Acta Cryst. A 34, 610 (1978)
J. Groncowski, C. Malgrange. Acta Cryst. A 40, 507 (1984); F.N. Chukhovskii, C. Malgrange. Acta Cryst. A 45, 732 (1989)
H. Yan, O. Kalenci, I.O. Noyn. J. Appl. Cryst. 40, 322 (2007)
W.J. Bartels, J. Hornsta, D.J.W. Lobeek. Acta Cryst. A 42, 539 (1986)
Ю.А. Тхорик, Л.С. Хазан. Пластическая деформация и дислокации несответствия в гетероэпитаксиальных системах. Наук. думка, Киев (1983). С. 304
G. Stoney. Proc. Roy. Soc. (London) A 82, 172 (1925)
P.M. Marcus. Phys. Rev. B 51, 11, 7460 (1995)
S. Takagi. J. Phys. Soc. Jpn. 26, 5, 1239 (1969)
И.А. Смирнова, Э.В. Суворов, Е.В. Шулаков. ФТТ 49, 6, 1050 (2007)
Y. Epelboin, P. Riglet. Phys. Status Solidi A 54, 2, 547 (1979)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель