ПЖТФ, 2010, том 36, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Морфология пористого кремния при длительном анодном травлении в электролите с внутренним источником тока

К.Б.Тыныштыкбаев, Ю.А.Рябикин, С.Ж.Токмолдин,
Т.Айтмукан, Б.А.Ракыметов, Р.Б.Верменичев

Физико-технический институт МОН РК, Алматы, Казахстан
E-mail: kt011@sci.kz
Казахский национальный технический университет им. К.И. Сатпаева

Поступило в Редакцию 1 декабря 2009 г.

Представлены результаты электронно-микроскопического исследования морфологии пористого кремния, полученного при длительном анодном травлении с использованием внутреннего источника тока в электролитах HF:
H2O2:H2C5OH и HF:H2O2. Обнаружена мозаичная структура нанопористого кремния в виде островков, разделенных кремниевыми выступами. Показано, что островки представляют собой скопления окисленных нанокристаллитов. Приведены результаты элементного анализа островков окисленных нанокристаллитов и кремниевых выступов.

 PDF версия (1.1Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2010, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster