"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Морфология пористого кремния при длительном анодном травлении в электролите с внутренним источником тока
Тыныштыкбаев К.Б.1,2, Рябикин Ю.А.1,2, Токмолдин С.Ж.1,2, Айтмукан Т.1,2, Ракыметов Б.А.1,2, Верменичев Р.Б.1,2
1Физико-технический институт МОН РК, Алматы, Казахстан
2Казахский национальный технический университет им. К.И. Сатпаева, Алматы, Казахстан
Email: kt011@sci.kz
Поступила в редакцию: 1 декабря 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.

Представлены результаты электронно-микроскопического исследования морфологии пористого кремния, полученного при длительном анодном травлении с использованием внутреннего источника тока в электролитах HF: H2O2:H2C5OH и HF:H2O2. Обнаружена мозаичная структура нанопористого кремния в виде островков, разделенных кремниевыми выступами. Показано, что островки представляют собой скопления окисленных нанокристаллитов. Приведены результаты элементного анализа островков окисленных нанокристаллитов и кремниевых выступов.
  • Горячев Д.Н., Беляков Л.В., Сресели О.М. // ФТП. 2003. Т. 37. В. 4. С. 494
  • Smith R.L., Collins S.D. // J. Appl. Phys. 1992. V. 71. N 8. P. R1
  • Theiss W. // Surface Science Reports. 1997. V. 29. P. 91
  • Караванский В.А., Качалов М.А., Маслов А.П. и др. // ПЖЭТФ. 1993. Т. 57. N 4. С. 229
  • Полисский Г., Сресели О.М., Андрианов А.В., Кох Ф. // ФТП. 1997. Т. 31. В. 3. С. 365
  • Ратников В.В., Сорокин Л.М., Соколов В.И., Калмыков А.Е. // ФТТ. 2009. Т. 51. В. 12. С. 2289
  • Белогорохов А.И., Белогорохова Л.И., Караванский В.А., Образцов А.Н. // ФТП. 1994. Т. 28. В. 8. С. 1424
  • Ельцов К.Н., Караванский В.А., Мартынов В.В. // ПЖЭТФ. 1996. Т. 63. N 2. С. 106
  • Гаврилов С.А., Заварицкая Т.Н., Караванский В.А. и др. // Электрохимия. 1997. Т. 33. N 9. С. 1064
  • Колмакова Т.П., Бару В.Г., Малахов Б.А. и др. // ПЖЭТФ. 1993. Т. 57. N 7. С. 398.
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.