Разработана математическая модель переноса распыленных частиц при ионно-плазменном напылении пленок (Ba,Sr,Ca)СO₃ с применением метода Монте-Карло. Использовались энергозависимые сечения упругого и неупругого рассеяния в рамках изотропного режима, угловые распределения вылета с мишени по закону степенного косинуса с индивидуальными показателями степени. Проведена калибровка толщины и состава по экспериментальным данным для пленок, осажденных при давлении 0.12 Pa. При оптимальном радиусе 32.1 mm среднее нормированное евклидово расстояние между смоделированным и экспериментальным составами металлов равно 0.38 %, по полному составу - 0.53 %. Проведен расчет состава в диапазоне давлений 0.10-0.15 Pa. Ключевые слова: ионно-плазменное напыление, щелочно-земельные металлы, метод Монте-Карло, распределение Томпсона, упругое рассеяние частиц, Парето-оптимизация.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.