Использован метод атомно-слоевого осаждения для выращивания тонкого слоя NiO как источника катализатора для роста углеродных нанотрубок на кремниевых подложках с естественным оксидом кремния. Массивы углеродных нанотрубок были получены с использованием плазмохимического осаждения из газовой фазы. Предложена и изучена методика оптимизации катализатора с помощью процесса цементации никеля. Без предварительной цементации для образцов с исходным слоем NiO толщиной 1.4-3.7 nm созданные массивы углеродных нанотрубок характеризовались малой длиной или низкой плотностью расположения. Проведение цементации никелевой пленки в фазе ее подготовки позволило повысить указанные характеристики массивов. Предлагаемая операция не усложняет технологический процесс и может быть осуществлена средствами установки. Ключевые слова: углеродные нанотрубки, катализатор, цементация, углеродный слой.