Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2025, выпуск 20 » Статья стр. 21
<<<>>>
Слои α-Cr2O3, выращенные на подложках (100) β-Ga2O3 методом ультразвуковой паровой химической эпитаксии (mist-CVD)
Российский научный фонд, 25-29-00627
Николаев В.И.1, Тимашов Р.Б.1, Степанов А.И.1, Чикиряка А.В.1, Щеглов М.П.1, Шапенков С.В.1, Крымов В.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: chikiryaka@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 июня 2025 г.
В окончательной редакции: 14 июля 2025 г.
Принята к печати: 14 июля 2025 г.
Выставление онлайн: 16 сентября 2025 г.
PDF версия
Впервые методом CVD получены эпитаксиальные слои оксида хрома на подложках объемного оксида галлия толщиной до 1 μm и более. Исследован вопрос ориентации этих слоев. Методом рентгеновской дифракции установлено, что слои α-Cr2O3, выращенные на пластинах (100) β-Ga2O3, имеют единственный слоевой рефлекс, соответствующий (11 26). Ключевые слова: оксид галлия, оксид хрома, mist-CVD-эпитаксия, гетероструктуры, многослойные пленки.
  1. S. Ghosh, M. Baral, R. Kamparath, R.J. Choudhary, D.M. Phase, S.D. Singh, T. Ganguli, Appl. Phys. Lett., 115, 061602 (2019). DOI: 10.1063/1.5100589
  2. W.A. Callahan, K. Egbo, Ch.-W. Lee, D. Ginley, R. O'Hayre, A. Zakutayev, Appl. Phys. Lett., 124, 153504 (2024). DOI: 10.1063/5.0185566
  3. G.T. Dang, Y. Suwa, M. Sakamoto, L. Liu, P. Rutthongjan, S. Sato, T. Yasuoka, R. Hasegawa, T. Kawaharamura, Appl. Phys. Express, 11, 111101 (2018). DOI: 10.7567/APEX.11.111101
  4. Md Sadullah, S.M. Hussain, K. Ghosh, Chem. Papers, 77, 6041 (2023). DOI: 10.1007/s11696-023-02920-2
  5. В.И. Николаев, Р.Б. Тимашов, А.И. Степанов, С.И. Степанов, А.В. Чикиряка, М.П. Щеглов, А.Я. Поляков, Письма в ЖТФ, 49 (10), 43 (2023). DOI: 10.21883/TPL.2023.05.56036.19549 [V.I. Nikolaev, R.B. Timashov, A.I. Stepanov, S.I. Stepanov, A.V. Chikiryaka, M.P. Shcheglov, A.Ya. Polyakov, Tech. Phys. Lett., 49 (5), 81 (2023). DOI: 10.21883/TPL.2023.05.56036.19549]
  6. V.I. Nikolaev, A.Y. Polyakov, V.M. Krymov, D.S. Saranin, A.V. Chernykh, A.A. Vasilev, I.V. Schemerov, A.A. Romanov, N.R. Matros, A.I. Kochkova, P. Gostishchev, S.V. Chernykh, S.V. Shapenkov, P.N. Butenko, E.B. Yakimov, S.J. Pearton, ECS J. Solid State Sci. Technol., 13, 123004 (2024). DOI: 10.1149/2162-8777/ad9ace
  7. T. Kudo, K. Sekiguchi, K. Sankoda, N. Namiki, S. Nii, Ultrason. Sonochem., 37, 16 (2017). DOI: 10.1016/j.ultsonch.2016.12.019
  8. V.I. Nikolaev, S.V. Shapenkov, R.B. Timashov, A.I. Stepanov, M.P. Scheglov, A.V. Chikiryaka, A.Y. Polyakov, S.J. Pearton, J. Alloys Compd., 994, 174687 (2024). DOI: 10.1016/j.jallcom.2024.174687
  9. С.В. Шапенков, Р.Б. Тимашов, А.И. Степанов, Г.В. Варыгин, А.В. Чикиряка, М.П. Щеглов, В.И. Николаев, в сб. Тезисы IV Междунар. конф. Физика конденсированных состояний", под ред. Б.Б. Страумала (ИФТТ РАН, Черноголовка, 2025), с. 297. DOI: 10.24412/cl-37349-FKS-4.280

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme