Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2025, выпуск 16 » Статья стр. 11
<<<>>>
Наноразмерные пленки титаната бария-стронция для устройств микроэлектроники
Мухортов В.М.1, Бирюков С.В.1, Головко Ю.И.1, Масычев С.И.1
1Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: mukhortov1944@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 апреля 2025 г.
В окончательной редакции: 18 мая 2025 г.
Принята к печати: 19 мая 2025 г.
Выставление онлайн: 22 июля 2025 г.
PDF версия
Исследованы температурная зависимость диэлектрической проницаемости и токи утечки наноразмерных тонких пленок титаната бария-стронция. Исследования проводились при подаче напряжения смещения, приложенного к зазору между штырями встречно-штыревого конденсатора на основе указанной пленки. Установлена высокая температурная стабильность наноразмерных тонких пленок титаната бария-стронция при подаче напряжения смещения. Показано, что токи утечки нелинейные и несимметричные относительно прикладываемого напряжения смещения, а их величина позволяет использовать исследованные пленки при реализации устройств микроэлектроники. Ключевые слова: наноразмерные пленки, сегнетоэлектричество, планарный конденсатор, титанат бария-стронция.
  1. L. Shao, J. Zhang, I.D. Rukhlenko, W. Zhu, Chin. Opt. Lett., 20 (10), 103601 (2022). DOI: 10.3788/COL202220.103601
  2. Antenna and array technologies for future wireless ecosystems, ed. by Y.J. Guo, R.W. Ziolkowski (John Wiley \& Sons, Hoboken, 2022). DOI: 10.1002/9781119813910
  3. R. Platonov, A. Altynnikov, A. Komlev, A. Sosunov, A.B. Kozyrev, Crystals, 11, 585 (2021). DOI: 0.3390/cryst11060585
  4. В.М. Мухортов, Ю.И. Головко, С.В. Бирюков, С.И. Масычев, А.В. Павленко, Д.В. Стрюков, С.П. Зинченко, А.П. Ковтун, Г.Н. Толмачев, Наука Юга России, 18 (4), 33 (2022). DOI: 10.7868/S25000640220404
  5. В.Р. Анпилогов, В.В. Денисенко, И.В. Зимин, Ю.В. Кривошеев, Ю.Н. Чекушкин, А.В. Шишлов, Первая миля. Спутниковые телекоммуникации, N 3 (80) 16 (2019). DOI: 10.22184/2070-8963.2019.80.3.16.27
  6. M.R. Gasper, R.C. Toonen, N.C. Varaljay, R.R. Romanofsky, F.A. Miranda, IEEE Trans. Nanotechnol., 18, 879 (2019). DOI: 10.1109/TNANO.2019.293541
  7. Ю.В. Подгорный, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, ФТТ, 54 (5), 859 (2012). [Yu.V. Podgornyi, K.A. Vorotilov, A.S. Sigov, Phys. Solid State, 54 (5), 911 (2012). DOI: 10.1134/S1063783412050332]
  8. Ю.В. Подгорный, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, ФТТ, 60 (3), 431 (2018). DOI: 10.21883/FTT.2018.03.45539.02D [Yu.V. Podgornyi, K.A. Vorotilov, A.S. Sigov, Phys. Solid State, 60 (3), 433 (2018). DOI: 10.1134/S1063783418030253]
  9. М.М. Гайдуков, А.В. Тумаркин, А.Г. Гагарин, А.Б. Козырев, Письма в ЖТФ, 40 (8), 37 (2014). [M.M. Gaidukov, A.V. Tumarkin, A.G. Gagarin, A.B. Kozyrev, Tech. Phys. Lett., 40 (4), 337 (2014). DOI: 10.1134/S1063785014040191]
  10. Г.А. Командин, А.А. Волков, И.Е. Спектор, К.А. Воротилов, В.М. Мухортов, ФТТ, 51 (7), 1280 (2009). [G.A. Komandin, A.A. Volkov, I.E. Spektor, K.A. Vorotilov, V.M. Mukhortov, Phys. Solid State, 51 (7), 1351 (2009). DOI: 10.1134/S1063783409070087]

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme