Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Магнетронное распыление олова из жидкой фазы в режиме стабилизации тока
Булычев В.С.
1,2,3, Дубинов А.Е.
1,3
1Российский федеральный ядерный центр --- Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики, Саров, Нижегородская обл., Россия 
2Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
3Саровский физико-технический институт --- филиал Национального исследовательского ядерного университета МИФИ, Саров, Нижегородская область, Россия
2Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана, Москва, Россия
3Саровский физико-технический институт --- филиал Национального исследовательского ядерного университета МИФИ, Саров, Нижегородская область, Россия
Email: bulvs@mail.ru, dubinov-ae@yandex.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 25 июня 2024 г.
Принята к печати: 12 июля 2024 г.
Выставление онлайн: 14 октября 2024 г.
Продемонстрирована возможность работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллическим катодом. Проведены эксперименты по распылению оловянного катода из жидкого состояния в режиме стабилизации тока. Дана оценка значения коэффициента катодного распыления олова при распылении из жидкого состояния. Ключевые слова: магнетронный разряд, жидкий катод, олово, распыление.
- Б.С. Данилин, В.К. Сырчин, Магнетронные распылительные системы (Радио и связь, М., 1982)
- P.J. Kelly, R.D. Arnell, Vacuum, 56 (3), 159 (2000). DOI: 10.1016/S0042-207X(99)00189-X
- G. Brauer, B. Szyszka, M. Vergohl, R. Bandorf, Vacuum, 84 (12), 1354 (2010). DOI: 10.1016/j.vacuum.2009.12.014
- D. Lundin, T. Minea, J.T. Gudmundsson, High power impulse magnetron sputtering (Elsevier, Amsterdam, 2020)
- Д.В. Духопельников, Магнетронные распылительные системы (Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, М., 2014), ч. 1
- М.К. Марахтанов, Магнетронные системы ионного распыления (Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, М., 1990).
- G.A. Bleykher, V.P. Krivobokov, A.V. Yurjeva, I. Sadykova, Vacuum, 124 (1), 11 (2016). DOI: 10.1016/j.vacuum.2015.11.009
- Д.В. Духопельников, В.С. Булычев, Е.В. Воробьев, Вестн. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер.: Естественные науки, N 1(76), 95 (2018). DOI: 10.18698/1812-3368-2018-1-95-103
- K. Sasaki, H. Koyama, Appl. Phys. Express, 11 (3), 036201 (2018). DOI: 10.7567/APEX.11.036201
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
