Сверхрешетки InAs/GaSb для инфракрасных фотоприемников
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, государственное задание, FWGW-2022-0005
Бакаров А.К.
1, Суханов М.А.
1, Ярошевич А.С.
1, Лошкарев И.Д.
1, Журавлев К.С.
11Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: bakarov@isp.nsc.ru, msukhanov@isp.nsc.ru, jarosh@isp.nsc.ru, idl@isp.nsc.ru, zhur@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 17 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 27 июня 2024 г.
Принята к печати: 28 июня 2024 г.
Выставление онлайн: 8 октября 2024 г.
Представлены результаты выращивания методом молекулярно-лучевой эпитаксии сверхрешеток InAs/GaSb второго рода на подложках GaSb для фотоприемников средневолнового и длинноволнового инфракрасного диапазона. Определены условия роста буферного слоя GaSb и сверхрешеток со связями In-Sb на гетерограницах. Показано, что небольшое содержание мышьяка в буферном слое незначительно влияет на структурное совершенство сверхрешеток, большее влияние оказывает толщина буферного слоя. Выбранные условия роста сверхрешеток позволили получать высокую повторяемость периодов. Измеренные толщины слоев сверхрешеток близки к толщинам, задаваемым при их росте. Формирование гетерограниц со связями In-Sb обеспечило хорошие оптические параметры сверхрешеток. Высокая воспроизводимость сверхрешеток дала возможность управляемо смещать длинноволновый край оптического поглощения от 5.6 до 9 μm, изменяя толщины слоев InAs и GaSb. Ключевые слова: молекулярно-лучевая эпитаксия, короткопериодные напряженные сверхрешетки InAs/GaSb второго рода, инфракрасные фотоприемники.
- A. Rogalski, P. Martyniuk, M. Kopytko, Appl. Phys. Rev., 4 (3), 31304 (2017). DOI: 10.1063/1.4999077
- D. Ramos, M. Delmas, L. Hoglund, R. Ivanov, L. vZurauskaite, D. Evans, D. Rihtnesberg, L. Bendrot, S. Smuk, A. Smuk, S. Becanovic, S. Almqvist, P. Tinghag, S. Fattala, E. Costard, P.E. Hellstrom, Appl. Phys. Lett., 123 (18), 181102 (2023). DOI: 10.1063/5.0176652
- D. Kwan, M. Kesaria, E.A. Anyebe, D. Huffaker, Infrared Phys. Technol., 116, 103756 (2021). DOI: 10.1016/j.infrared.2021.103756
- D.O. Alshahrani, M. Kesaria, E.A. Anyebe, V. Srivastava, D.L. Huffaker, Adv. Photon. Res., 3 (2), 2100094 (2021). DOI: 10.1002/adpr.202100094
- M. Walther, R. Rehm, J. Schmitz, J. Niemasz, F. Rutz, A. Worl, L. Kirste, R. Scheibner, J. Wendler, J. Ziegler, Proc. SPIE, 7945, 79451N (2011). DOI: 10.1117/12.875159
- Y. Livneh, P.C. Klipstein, O. Klin, N. Snapi, S. Grossman, A. Glozman, E. Weiss, Phys. Rev. B, 86 (23), 235311 (2012). DOI: 10.1103/physrevb.86.235311
- Y. Zhang, W. Ma, Y. Cao, J. Huang, Y. Wei, K. Cui, J. Shao, IEEE J. Quantum Electron., 47 (12), 1475 (2011). DOI: 10.1109/jqe.2011.2168947
- A. Jasik, J. Kubacka-Traczyk, K. Reginski, I. Sankowska, R. Jakie a, A. Wawro, J. Kaniewski, J. Appl. Phys., 110 (7), 73509 (2011). DOI: 10.1063/1.3642995
- A. Jasik, I. Sankowska, K. Reginski, E. Machowska-Podsiad o, A. Wawro, M. Wzorek, R. Kruszka, R. Jakie a, J. Kubacka-Traczyk, M. Motyka, J. Kaniewski, in: Crystal growth: theory, mechanisms and morphology, ed. by J.P. Isaac, N.A. Manusco (Nova Science Publ., Inc., 2012), ch. 9, p. 293--327
- B.J. Spencer, P.W. Voorhees, J. Tersoff, Phys. Rev. B, 64 (23), 235318 (2001). DOI: 10.1103/physrevb.64.235318
- D.C. Look, J.H. Leach, J. Vac. Sci. Technol. B, 34 (4), 04J105 (2016). DOI: 10.1116/1.4954211
- G. Ariyawansa, E. Steenbergen, L.J. Bissell, J.M. Duran, J.E. Scheihing, M.T. Eismann, Proc. SPIE, 9070, 90701J (2014). DOI: 10.1117/12.2057506
- P.-F. Qiao, S. Mou, S.L. Chuang, Opt. Express, 20 (3), 2319 (2012). DOI: 10.1364/oe.20.002319
- H. Katayama, T. Takekawa, M. Kimata, H. Inada, Y. Iguchi, Infrared Phys. Technol., 70, 53 (2015). DOI: 10.1016/j.infrared.2014.10.014
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.