Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Упругое рассеяние атома рутения на атомах Si и O в диапазоне относительных кинетических энергий 2-200 eV
Переводная версия: 10.21883/TPL.2023.05.56021.19530 
Палов А.П.
1
1Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
Email: a.palov@mail.ru
Поступила в редакцию: 13 февраля 2023 г.
В окончательной редакции: 4 марта 2023 г.
Принята к печати: 6 марта 2023 г.
Выставление онлайн: 4 апреля 2023 г.
Технологии производства межслойных соединений нового поколения предполагают использование рутения. Высокая стоимость экспериментального изучения распыления и травления тренчей в Ru приводит к необходимости его оптимизации путем моделирования, требующего знания сечений элементарных процессов взаимодействия плазменных частиц с Ru. Бинарные межатомные потенциалы Ru-Ru и Ru-Si, апробированные методом молекулярной динамики, и Ru-O, рассчитанный с помощью метода многоконфигурационного взаимодействия MRCI/AV5Z использованы нами для расчета сечений упругого рассеяния атомов в диапазоне энергий, типичных для плазменного травления. Ключевые слова: рутений, упругое сечение рассеяния, распыление, бинарный потенциал.
- S. Decoster, E. Camerotto, G. Murdoch, S. Kundu, Q.T. Le, Z. Tokei, G. Jurczak, F. Lazzarino, J. Vac. Sci. Technol. B, 40, 032802 (2022). DOI: 10.1116/6.0001791
- D. Gall, J. Appl. Phys., 127, 050901 (2020). DOI: 10.1063/1.5133671
- C.C. Hsu, J.W. Coburn, D.B. Graves, J. Vac. Sci. Technol. A, 24, 1 (2006). DOI: 10.1116/1.212175
- S. Paolillo, D. Wan, F. Lazzarino, N. Rassoul, D. Piumi, Z. Tokei, J. Vac. Sci. Technol. B, 36, 03E103 (2018). DOI: 10.1116/1.5022283
- C.C. Hsu, M.A. Nierode, J.W. Coburn, D.B. Graves, J. Phys. D: Appl. Phys., 39, 3272 (2006). DOI: 10.1088/0022-3727/39/15/009
- A.P. Palov, G.G. Balint-Kurti, E.N. Voronina, T.V. Rakhimova, J. Vac. Sci. Technol. A, 36, 041303 (2018). DOI: 10.1116/1.5027387
- N. Chen, Q. Peng, Z. Jiao, I. van Rooyen, W.F. Skerjanc, F. Gao, J. Phys.: Condens. Matter, 32, 085702 (2020). DOI: 10.1088/1361-648X/ab5465
- I.R. Ariyarathna, N.M.S. Almeida, E. Miliordos, Phys. Chem. Chem. Phys., 22, 16072 (2020). DOI: 10.1039/D0CP02468F
- Г.Ф. Друкарев, ЖЭТФ, 19, 247 (1949)
- A.P. Palov, G.G. Balint-Kurti, Comput. Phys. Commun., 263, 107895 (2021). DOI: 10.1016/j.cpc.2021.107895
- G.G. Balint-Kurti, A.P. Palov, Theory of molecular collisions (Royal Society of Chemistry, Cambridge, 2015).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
