Вышедшие номера
Низкоэмиссионные углеродные покрытия для управляющих сеток электровакуумных приборов высокой мощности
Яфаров Р.К. 1, Шабунин Н.О. 1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru, n-shabunin@bk.ru
Поступила в редакцию: 21 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 27 декабря 2022 г.
Принята к печати: 28 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 1 февраля 2023 г.

Исследовано влияние дипольной поляризации углеродных пленочных покрытий на их вторичную эмиссию электронов. Показано, что плазменное фторирование углеродных покрытий с низким удельным поверхностным сопротивлением, полученных в микроволновой плазме паров этанола низкого давления, увеличивает работу выхода электронов на 0.6 eV и уменьшает вторичную электронную эмиссию более чем в 2 раза. Результаты могут быть использованы для получения коллекторов и антиэмиссионных покрытий на сеточных электродах мощных электровакуумных устройств СВЧ- и субтерагерцевого диапазонов. Ключевые слова: микроволновая плазма, углеродная пленка, плазменное фторирование, работа выхода, вторичная электронная эмиссия.
  1. А.М. Анпилов, Э.М. Бархударов, И.А. Коссый, М.А. Мисакян, Способ получения наноструктурированного углеродного покрытия, патент RU N 2565199 (заявка 26.07.2013, опубл. 20.10.2015)
  2. C. Jin, T. Huang, Y. Yang, D. Yang, Y. Hu, L. Zhuge, X. Wu, Material for suppressing secondary electron emission, patent CN104241061A (publ. 24.12. 2014)
  3. N. Bundaleska, A. Dias, N. Bundaleski, E. Felizardo, J. Henriques, D. Tsyganov, M. Abrashev, E. Valcheva, J. Kissovski, A.M. Ferraria, A.M. Botelho do Rego, A. Almeida, J. Zavavsnik, U. Cvelbar, O.M.N.D. Teodoro, Th. Strunskus, E. Tatarova, Sci. Rep., 10, 13013 (2020). DOI: 10.1038/s41598-020-69844-9
  4. W. Hu, X. Yi, J. Li, B. Gao, Y. Li, S. Wu, S. Lin, A kind of carbon-base film and preparation method thereof for inhibiting secondary, patent CN110396668A (publ. 01.11.2019)
  5. Р.К. Яфаров, Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (Физматлит, М., 2009).
  6. Р.К. Яфаров, Н.О. Шабунин, В.Я. Шаныгин, А.М. Захаревич, Изв. Саратов. ун-та. Новая серия. Физика, 20 (2), 134 (2020). DOI: 10.18500/1817-3020-20-2-134-143
  7. Д.А. Усанов, Р.К. Яфаров, Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода (Изд-во Саратов. ун-та, Саратов, 2011).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.