Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2022, выпуск 17 » Статья стр. 28
<<<>>>
Исследование прочности тонких пластин кремния в зависимости от методов обработки их поверхности при утонении
DOI: 10.21883/PJTF.2022.17.53284.19244
Переводная версия: 10.21883/TPL.2022.09.55077.19244
Козлов В.А.1,2, Николаев В.И.1, Шпейзман В.В.1, Тимашов Р.Б.1, Поздняков А.О.1, Степанов С.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2AO "ПК "ФИД-Техника", Санкт-Петербург, Россия
Email: shpeizm.v@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 4 мая 2022 г.
В окончательной редакции: 7 июля 2022 г.
Принята к печати: 18 июля 2022 г.
Выставление онлайн: 11 августа 2022 г.
PDF версия
Исследована механическая прочность кремниевых пластин толщиной 100 μm. Нагружение пластин проводилось методом "кольцо-в-кольцо", величина напряжений и прогиба под малым кольцом определялась путем конечно-элементного моделирования. Справедливость расчетной модели проверялась по сравнению зависимостей прогиба под малым кольцом от нагрузки, полученных в эксперименте и при моделировании. Показана зависимость прочности от способов получения и обработки пластин, а также ее связь с характеристиками шероховатости поверхности. Ключевые слова: кремний, прочность, химико-механическая обработка, шероховатость поверхности.
  1. F. Kaule, B. Kohler, J. Hirsch, S. Schoenfelder, D. Lausch, Solar Energy Mater. Solar Cells, 185, 511 (2018). DOI: 10.1016/j.solmat.2018.05.057
  2. H. Sekhar, T. Fukuda, K. Tanahashi, H. Takato, H. Ono, Y. Sampei, T. Kobayashi, Mater. Sci. Semicond. Process., 119, 105209 (2020). DOI: 10.1016/j.mssp.2020.105209
  3. J.-H. Woo, Y.-Ch. Kim, S.-H. Kim, J. Jang, H.N. Han, K.J. Choi, I. Kim, J.-Y. Kim, Scripta Mater., 140, 1 (2017). DOI: 10.1016/j.scriptamat.2017.06.047
  4. S. Gouttebroze, H.I. Lange, X. Ma, R. Glockner, B. Emamifard, M. Syvertsen, M. Vardavoulias, A. Ulyashin, Phys. Status Solidi A, 210, 777 (2013). DOI: 10.1002/pssa.201300003
  5. V.A. Popovich, W. Geerstma, M. Janssen, I.J. Bennett, I.M. Richardson, in EPD Congress 2015, ed. by J. Yurko, A. Allanore, L. Bartlett, J. Lee, L. Zhang, G. Tranell, Yu. Meteleva-Fischer, S. Ikhmayies, A.S. Budiman, P. Tripathy, G. Fredrickson (The Minerals, Metals \& Materials Society, 2015), p. 241. DOI: 10.1002/9781119093503.ch28
  6. В.В. Шпейзман, В.И. Николаев, А.О. Поздняков, А.В. Бобыль, Р.Б. Тимашов, А.И. Аверкин, С.Е. Никитин, О.И. Коньков, Г.Г. Шелопин, Е.И. Теруков, А.В. Нащекин, ЖТФ, 90 (7), 1168 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2020.07.49452.380-19 [V.V. Shpeizman, V.I. Nikolaev, A.O. Pozdnyakov, A.V. Bobyl', R.B. Timashov, A.I. Averkin, S.E. Nikitin, O.I. Kon'kov, G.G. Shelopin, E.I. Terukov, A.V. Nashchekin, Tech. Phys., 65, 1123 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220070191]
  7. G. Rozgonyi, K. Youssef, P. Kulshreshtha, M. Shi, E. Good, Solid State Phenom., 178-179, 79 (2011). DOI: 10.4028/www.scientific.net/SSP.178-179.79
  8. A.M. Gabor, R. Janoch, A. Anselmo, J.L. Lincoln, H. Seigneur, Ch. Honeker, in 2016 IEEE 43rd Photovoltaic Specialists Conf. (PVSC) (IEEE, 2016), p. 3574

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme