Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Функционализация поверхности low-k диэлектриков ионами Ar низкой энергии
Переводная версия: 10.21883/TPL.2022.04.53162.19085 
РФФИ, Исследование способов функционализации нанопористых пленок с низкой диэлектрической проницаемостью и нанесения диффузионных барьеров на их поверхность, 18-29-27001
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия 
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
2Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
Email: sycheva.phys@gmail.com, Voroninaen@nsrd.sinp.msu.ru
Поступила в редакцию: 19 ноября 2021 г.
В окончательной редакции: 13 января 2022 г.
Принята к печати: 16 января 2022 г.
Выставление онлайн: 20 февраля 2022 г.
Представлены результаты моделирования воздействия атомов и ионов Ar низкой энергии на поверхность low- k диэлектрика с использованием метода теории функционала плотности. Исследован механизм удаления CH3-групп с поверхности материала под воздействием атомов и ионов Ar. Получены оценки пороговой энергии данного процесса. Ключевые слова: low-k диэлектрики, функционализация, компьютерное моделирование, диффузионные барьеры, метильные группы.
- M.R. Baklanov, P.S. Ho, E. Zschech, Advanced interconnects for ULSI technology (Wiley \& Sons, 2012)
- H. Xu, Zh.-J. Hu, X.-P. Qu, H. Wan, Sh.-S. Yan, M. Li, Sh.-M. Chen, Yu-H. Zhao, J. Zhang, M.R. Baklanov, Appl. Surf. Sci., 498, 143887 (2019). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.143887
- A.P. Palov, O.V. Proshina, T.V. Rakhimova, A.T. Rakhimov, E.N. Voronina, Plasma Process. Polym., 18 (7), 2100007 (2021). DOI: 10.1002/ppap.202100007
- В. Кон, УФН, 172 (3), 336 (2002). DOI: 10.3367/UFNr.0172.200203e.0336
- A.N. Zinoviev, K. Nordlund, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 406, 511 (2017). DOI: 10.1016/j.nimb.2017.03.047
- P.E. Blochl, Phys. Rev. B, 50 (24), 17953 (1994). DOI: 10.1103/PhysRevB.50.17953
- G. Kresse, D. Joubert, Phys. Rev. B, 59 (3), 1758 (1999). DOI: 10.1103/PhysRevB.59.1758
- V.V. Voevodin, A.S. Antonov, D.A. Nikitenko, P.A. Shvets, S.I. Sobolev, I.Yu. Sidorov, K.S. Stefanov, V.V. Voevodin, S.A. Zhumatiy, Supercomput. Front. Innov., 6 (2), 4 (2019). DOI: 10.14529/jsfi190201
- E.N. Voronina, Yu.A. Mankelevich, T.V. Rakhimova, D.V. Lopaev, J. Vac. Sci. Technol. A, 37 (6), 061304 (2019). DOI: 10.1116/1.5122655
- B. deB. Darwent, Bond dissociation energies in simple molecules, Nat. Stand. Ref. Data Ser. (Nat. Bur. Stand., Washington, 1970)
- W. Humphrey, A. Dalke, K. Schulten, J. Mol. Graphics, 14, 33 (1996). DOI: 10.1016/0263-7855(96)00018-5
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
