"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, FSUS-2020-0039
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, FSUS-2020-0029
Госзадание ОНЦ СО РАН , №075-03-2020-614
Николаев И.В. 1, Коробейщиков Н.Г. 1, Роенко М.А. 1, Гейдт П.В. 1, Струнин В.И. 2,3
1Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
2Омский государственный университет им. Ф.М. Достоевского, Омск, Россия
3Институт радиофизики и физической электроники ОНЦ СО РАН, Омск, Россия
Email: i.nikolaev@nsu.ru, korobei@nsu.ru, p.geydt@nsu.ru, struninvi@omsu.ru
Поступила в редакцию: 1 сентября 2020 г.
В окончательной редакции: 28 сентября 2020 г.
Принята к печати: 11 декабря 2020 г.
Выставление онлайн: 12 января 2021 г.

Исследована модификация поверхности тонких поликристаллических пленок нитрида алюминия с помощью бомбардировки ионно-кластерным пучком. Обработка проводилась высоко- (105 eV/atom) и низкоэнергетическими (10 eV/atom) кластерными ионами аргона. С помощью метода атомно-силовой микроскопии с применением спектральной функции шероховатости продемонстрировано высокоэффективное сглаживание наноструктурированной поверхности в широком диапазоне пространственных частот (ν=0.02-128 μm-1) при ультрамалой глубине травления (<100 nm). Ключевые слова: ионно-кластерный пучок, тонкие пленки, нитрид алюминия, сглаживание поверхности.
  1. I. Yamada, Materials processing by cluster ion beams. History, theory, and applications (CRC Press, Boca Raton, 2015)
  2. I. Yamada, J. Matsuo, N. Toyoda, T. Aoki, T. Seki, Cur. Opin. Solid State Mater. Sci., 19, 12 (2015). DOI: 10.1016/j.cossms.2014.11.002
  3. A.T. Wu, D.R. Swenson, Z. Insepov, Phys. Rev. Spec. Top., 13, 093504 (2010). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.02.019
  4. A.E. Ieshkin, D.S. Kireev, Yu.A. Ermakov, A.S. Trifonov, D.E. Presnov, A.V. Garshev, Yu.V. Anufriev, I.G. Prokhorova, V.A. Krupenin, V.S. Chernysh, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 421, 27 (2018). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.02.019
  5. Н.Г. Коробейщиков, И.В. Николаев, М.А. Роенко, Письма в ЖТФ, 45 (6), 30 (2019). DOI: 10.21883/PJTF.2019.06.47496.17646 [Пер. версия: 10.1134/S1063785019030295]
  6. Y.Q. Fu, J.K. Luo, N.T. Nguyen, A.J. Walton, A.J. Flewitt, X.T. Zu, Y. Li, G. McHale, A. Matthews, E. Iborra, H. Du, W.I. Milne, Prog. Mater. Sci., 89, 31 (2017). DOI: 10.1016/j.pmatsci.2017.04.006
  7. V.S. Kudyakova, R.A. Shishkin, A.A. Elagin, M.V. Baranov, A.R. Beketov, J. Eur. Ceram. Soc., 37, 1143 (2017). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2016.11.051
  8. N.G. Korobeishchikov, I.V. Nikolaev, M.A. Roenko, Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 438, 1 (2019). DOI: 10.1016/j.nimb.2018.10.019
  9. N.G. Korobeishchikov, I.V. Nikolaev, M.A. Roenko, V.V. Atuchin, Appl. Phys. A, 124, 833 (2018). DOI: 10.1007/s00339-018-2256-3
  10. M.P. Seah, J. Phys. Chem. C, 117, 12622 (2013). DOI: 10.1021/jp402684c
  11. R.J. Paruch, Z. Postawa, B.J. Garrison, J. Vac. Sci. Technol. B, 34, 03H105 (2016). DOI: 10.1116/1.4940153
  12. B.-H. Hwang, C.-S. Chen, H.-Y. Lu, T.-C. Hsu, Mater. Sci. Eng. A, 325, 380 (2002). DOI: 10.1016/S0921-5093(01)01477-0
  13. C. Duquenne, M-P. Besland, P.Y. Tessier, E. Gautron, Y. Scudeller, D. Averty, J. Phys. D: Appl. Phys., 45, 015301 (2011). DOI: 10.1088/0022-3727/45/1/015301
  14. N.I. Chkhalo, A.V. Kirsanov, G.A. Luchinin, O.A. Malshakova, M.S. Mikhailenko, A.I. Pavlikov, A.E. Pestov, M.V. Zorina, Appl. Opt., 57, 6911 (2018). DOI: 10.1364/AO.55.001249

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.