Вышедшие номера
Исследование приповерхностного слоя германия, имплантированного ионами кобальта
Переводная версия: 10.1134/S1063785019100183
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), № 18-48-160027 р_а
государственное задание ФИЦ КазНЦ РАН
Базаров В.В. 1, Шустов В.А.1, Лядов Н.М. 1, Файзрахманов И.А.1, Янилкин И.В. 1,2, Хантимеров С.М. 1, Гарипов Р.Р.1, Фатыхов Р.Р. 1, Сулейманов Н.М.1,3, Валеев В.Ф.1
1Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского, ФИЦ Казанский научный центр РАН, Казань, Россия
2Институт физики Казанского федерального университета, Казань, Россия
3Казанский государственный энергетический университет, Казань, Россия
Email: vbazarov1@gmail.com, shustov@kfti.knc.ru, nik061287@mail.ru, fiak@kfti.knc.ru, yanilkin-igor@yandex.ru, khantim@mail.ru, ranis@kfti.knc.ru, nice.fatyhov@mail.ru, nail.suleimanov@mail.ru, valeev@kfti.knc.ru
Поступила в редакцию: 26 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.

Представлены результаты исследования наноструктурированной ионной имплантацией поверхности германия. В эксперименте монокристаллические пластины германия (c-Ge) облучались ионами Co+ с энергией 40 keV в интервале доз (2-8)· 1016 ion/cm2. Методом сканирующей электронной микроскопии исследована эволюция морфологии поверхности германия с увеличением дозы имплантации. Установлено, что с ростом дозы имплантации на поверхности имплантированного германия постепенно формируется слой сферических образований диаметром ~ 150 nm. Анализ спектров рентгеновской дифракции показал появление в имплантированном слое наноразмерных частиц германида кобальта (CoGe). Ключевые слова: наноструктурированный германий, ионная имплантация, литий-ионные аккумуляторы.
  1. Romano L., Impellizzeri G., Tomasello M.V., Giannazzo F., Spinella C., Grimaldi M.G. // J. Appl. Phys. 2010. V. 107. P. 084314 (1-5). DOI: 10.1063/1.3372757
  2. Закиров Г.Г., Хайбуллин И.Б., Зарипов М.М. // ФТП. 1983. Т. 17. В. 2. С. 232--234
  3. Rudawski N.G., Darby B.L., Yates B.R., Jones K.S., Elliman R.G., Volinsky A.A. // Appl. Phys. Lett. 2012. V. 100. P. 083111 (1--4). DOI: 10.1063/1.3689781
  4. Davis M.E. // Nature. 2002. V. 417. P. 813--821. DOI: 10.1038/nature00785
  5. Cavalcoli D., Fraboni B., Impellizzeri G., Romano L., Scavetta E., Grimaldi M.G. // Micropor. Mesopor. Mater. 2014. V. 196. P. 175--178. DOI: 10.1016/j.micromeso.2014.05.013
  6. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The stopping and range of ions in solids. N.Y.: Pergamon, 1985. 321 p
  7. http://www.trim.org
  8. Wilson I.H. // J. Appl. Phys. 1982. V. 53. P. 1698--1705. DOI: 10.1063/1.331636
  9. Lutterotti L. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B. 2010. V. 268. P. 334--340. DOI: 10.1016/j.nimb.2009.09.053
  10. http://maud.radiographema.eu
  11. Audebrand N., Ellner M., Mittemeijer E.J. // Powder Diffraction. 2000. V. 15. P. 120--122. DOI: 10.1017/S0885715600010964

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.