"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние парциального давления азота на состав, микроструктуру и механические характеристики покрытий Ti1-x-yAlxyN, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Переводная версия: 10.1134/S1063785019040291
Шугуров А.Р.1, Акулинкин А.А.1,2, Кастеров А.М.1, Калашников М.П.1
1Институт физики прочности и материаловедения СО РАН, Томск, Россия
2Томский научный центр СО РАН, Томск, Россия
Email: shugurov@ispms.tsc.ru
Поступила в редакцию: 28 декабря 2018 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2019 г.

Исследована эволюция элементного состава, морфологии поверхности, микроструктуры и механических свойств покрытий Ti1-x-yAlxyN, нанесенных методом магнетронного распыления, при увеличении отношения парциального давления азота к общему давлению газовой смеси от 0.1 до 0.5. Установлено, что наиболее значительные изменения относительного содержания Ti, Al и Ta в покрытиях происходят при варьировании данного отношения от 0.1 до 0.3. Показано, что выявленное изменение элементного состава покрытий Ti1-x-yAlxyN не оказывает влияния на их фазовый состав, однако приводит к изменениям их микроструктуры и механических характеристик.
  • Шугуров А.Р., Акулинкин А.А., Панин А.В., Сергеев В.П., Калашников М.П., Воронов А.В., Ченг Ч. // Физ. мезомеханика. 2015. Т. 18. N 6. С. 66--74
  • Shugurov A.R., Kazachenok M.S. // Surf. Coat. Technol. 2018. V. 353. P. 254--262
  • Chen L., Paulitsch J., Du Y., Mayrhofer P.H. // Surf. Coat. Technol. 2012. V. 206. P. 2954--2960
  • Mayrhofer P.H., Rachbauer R., Holec D., Rovere F., Schneider J.M. Protective transition metal nitride coatings // Comprehensive Materials Processing. Elsevier Ltd., 2014. P. 355--388
  • Блинков И.В., Волхонский А.О., Белов Д.С., Сергевнин В.С., Черногор А.В., Киселева Т.В., Бондарев А.В. // Письма в ЖТФ. 2018. Т. 44. В. 4. С. 80--85
  • Grossmann B., Jamnig A., Schalk N., Czettl C., Pohler M., Mitterer C. // J. Vac. Sci Technol. A. 2017. V. 35. P. 060604 (1--6)
  • Seidl W.M., Bartosik M., Kolozsvari S., Bolvardi H., Mayrhofer P.H. // Surf. Coat. Technol. 2018. V. 344. P. 244--249
  • Mikula M., Truchly M., Sangiovanni D.G., Plasienka D., Roch T., Gregor M., Durina P., Janik M., Kus P. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2017. V. 35. P. 060602 (1--6)
  • Sui X., Li G., Jiang C., Yu H., Wang K., Wang Q. // Int. J. Refract. Met. Hard. Mater. 2016. V. 58. P. 152--156
  • Yang Y., Xu Y., Chen L., Mayrhofer P.H. // Surf. Coat. Technol. 2017. V. 328. P. 428--435
  • Hsieh T.H., Hsu C.H., Wu C.Y., Kao J.Y., Hsu C.Y. // Curr. Appl. Phys. 2018. V. 18. P. 512--518
  • Берлин Е.В., Сейдман Л.А. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. М.: Техносфера, 2014. 256 с
  • Chen L., Moser M., Du Y., Mayrhofer P.H. // Thin Solid Films. 2009. V. 517. P. 6635--6641
  • Schalk N., Fotso J.F.T.S., Holec D., Jakopic G., Fian A., Terziyska V.L., Daniel R., Mitterer C. // Acta Mater. 2016. V. 119. P. 26--34
  • Cheng Y.H., Tay B.K. // J. Cryst. Growth. 2003. V. 252. P. 257--264
  • Thornton J.A. // Ann. Rev. Mater. Sci. 1977. V. 7. P. 239--260
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.