Вышедшие номера
Формирование литографических рисунков ограненными микрочастицами оксида цинка на кремниевой подложке
Переводная версия: 10.1134/S1063785018080047
Бобков А.А.1,2, Пронин И.А.1,2, Мошников В.А.1,2, Якушова Н.Д.1, Карманов А.А.1, Аверин И.А.1, Сомов П.А.2, Теруков Е.И.3
1Пензенский государственный университет, Пенза, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: pronin_i90@mail.ru
Поступила в редакцию: 7 марта 2018 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2018 г.

В рамках гидротермального метода разработаны приемы литографии, совместимой с кремниевой технологией. При этом топологические рисунки формируются из ограненных микрокристаллов с развитой поверхностью. Особый интерес представляют перспективы реализации новых иерархических структур.